基于相位跟踪反馈机理的超精密定位系统研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-30页 |
| 第一节 研究背景与意义 | 第13-14页 |
| 第二节 研究的现状与趋势 | 第14-28页 |
| 1.2.1 超精密定位系统组成单元与分类 | 第14-21页 |
| 1.2.2 超精密定位系统的现状 | 第21-24页 |
| 1.2.3 超精密定位系统的发展趋势 | 第24-28页 |
| 第三节 主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 相位跟踪反馈定位系统及工作原理 | 第30-44页 |
| 第一节 相位跟踪反馈定位系统工作原理 | 第30-32页 |
| 2.1.1 传统定位系统工作流程 | 第30-31页 |
| 2.1.2 相位跟踪反馈定位系统结构 | 第31-32页 |
| 第二节 激光干涉测长原理与应用 | 第32-36页 |
| 2.2.1 双频激光干涉原理 | 第32-35页 |
| 2.2.2 激光干涉在传统定位系统中的应用 | 第35-36页 |
| 第三节 相位跟踪反馈定位系统设计 | 第36-43页 |
| 2.3.1 相位跟踪反馈定位系统结构 | 第36-37页 |
| 2.3.2 干涉系统的光路设计 | 第37-40页 |
| 2.3.3 高频信号发生及移相 | 第40-42页 |
| 2.3.4 驱动单元和微位移台 | 第42-43页 |
| 小结 | 第43-44页 |
| 第三章 超精密定位系统电路单元设计与实现 | 第44-58页 |
| 第一节 超精密定位系统控制单元组成 | 第44-45页 |
| 第二节 高频信号发生与移相电路 | 第45-48页 |
| 3.2.1 电路工作原理 | 第45-46页 |
| 3.2.2 高频信号发生与移相电路实现 | 第46-48页 |
| 第三节 高频鉴相电路 | 第48-53页 |
| 3.3.1 电路工作原理 | 第48-49页 |
| 3.3.2 高频鉴相单元电路实现 | 第49-53页 |
| 第四节 双极性位移驱动电路 | 第53-57页 |
| 3.4.1 电路工作原理 | 第53页 |
| 3.4.2 双极性位移驱动电路实现 | 第53-57页 |
| 小结 | 第57-58页 |
| 第四章 微位移台的设计与优化方法 | 第58-78页 |
| 第一节 超精密定位系统的位移发生单元 | 第58-60页 |
| 4.1.1 位移发生单元设计要求 | 第58页 |
| 4.1.2 柔性铰链的分类 | 第58-60页 |
| 第二节 柔性铰链的结构与特性分析 | 第60-68页 |
| 4.2.1 直圆型柔性铰链特性分析 | 第61-67页 |
| 4.2.2 其他典型柔性铰链特性分析 | 第67-68页 |
| 第三节 微位移台的设计与优化 | 第68-77页 |
| 4.3.1 微位移台结构与设计 | 第69-75页 |
| 4.3.2 微位移台的验证与优化 | 第75-77页 |
| 小结 | 第77-78页 |
| 第五章 超精密定位系统误差分析与补偿 | 第78-98页 |
| 第一节 误差源分析与补偿方法 | 第78-82页 |
| 5.1.1 误差源的分类 | 第78-80页 |
| 5.1.2 误差补偿方法 | 第80-82页 |
| 第二节 超精密定位系统的系统误差分析与补偿 | 第82-86页 |
| 5.2.1 电路单元误差与补偿 | 第82-83页 |
| 5.2.2 微位移发生单元误差与补偿 | 第83-85页 |
| 5.2.3 微位移监测单元误差与补偿 | 第85-86页 |
| 第三节 定位系统的随机误差分析与补偿 | 第86-92页 |
| 5.3.1 环境振动误差与抑制 | 第86-89页 |
| 5.3.2 环境温度误差与补偿 | 第89-91页 |
| 5.3.3 电磁干扰误差分析 | 第91-92页 |
| 第四节 定位系统的几何误差与补偿方法 | 第92-98页 |
| 5.4.1 定位平台的几何误差分析 | 第92-93页 |
| 5.4.2 二维平台齐次坐标转换 | 第93-96页 |
| 5.4.3 二元函数插值补偿方法 | 第96-98页 |
| 小结 | 第98-99页 |
| 第六章 实验与数据分析 | 第99-110页 |
| 第一节 电路单元性能实验 | 第99-104页 |
| 6.1.1 相位发生—鉴相电路精度实验 | 第99-100页 |
| 6.1.2 动电源精度实验 | 第100-104页 |
| 第二节 超精密定位系统实验 | 第104-108页 |
| 6.2.1 分辨力实验 | 第104-105页 |
| 6.2.2 重复性实验 | 第105页 |
| 6.2.3 稳定性实验 | 第105-106页 |
| 6.2.4 静态锁定实验 | 第106页 |
| 6.2.5 步进定位实验 | 第106-108页 |
| 第三节 数据分析与定位误差合成 | 第108-110页 |
| 6.3.1 电路单元引起的定位不确定度 | 第108页 |
| 6.3.2 位移发生单元引起的定位不确定度 | 第108页 |
| 6.3.3 激光干涉测长的不确定度 | 第108-109页 |
| 6.3.4 环境参数引起的定位不确定度 | 第109页 |
| 6.3.5 定位系统不确定度合成 | 第109-110页 |
| 第七章 结论 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 附录：攻读博士期间的论文和成果 | 第125页 |
