| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-18页 |
| 1.3 研究目标与研究内容 | 第18-19页 |
| 1.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 2 MOEMS集成扫描光栅微镜结构与理论分析 | 第20-29页 |
| 2.1 MOEMS集成扫描光栅微镜新结构与工作原理 | 第20-21页 |
| 2.2 闪耀光栅光学特性 | 第21-24页 |
| 2.2.1 角色散率 | 第21-22页 |
| 2.2.2 分辨能力 | 第22页 |
| 2.2.3 衍射效率 | 第22-24页 |
| 2.3 MOEMS扫描微镜动力学模型 | 第24-27页 |
| 2.4 电磁角度传感器理论模型 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 MOEMS集成扫描光栅微镜结构参数优化设计 | 第29-48页 |
| 3.1 闪耀光栅光学特性优化设计 | 第29-34页 |
| 3.1.1 动态衍射效率 | 第29-32页 |
| 3.1.2 光栅分辨能力 | 第32页 |
| 3.1.3 光栅平台分析 | 第32-34页 |
| 3.2 MOEMS扫描微镜结构优化设计与性能分析 | 第34-44页 |
| 3.2.1 有限元模型分析 | 第34-36页 |
| 3.2.2 MOEMS扫描微镜结构优化设计 | 第36-38页 |
| 3.2.3 MOEMS扫描微镜机械性能分析 | 第38-44页 |
| 3.3 电磁角度传感器优化设计 | 第44-45页 |
| 3.4 永磁体磁场分析与尺寸优化 | 第45-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 4 MOEMS集成扫描光栅微镜的加工与测试 | 第48-57页 |
| 4.1 MOEMS扫描光栅微镜关键加工技术 | 第48-49页 |
| 4.1.1 闪耀光栅的制备 | 第48页 |
| 4.1.2 光栅平台的锐化 | 第48-49页 |
| 4.1.3 可动结构的释放 | 第49页 |
| 4.2 MOEMS扫描光栅微镜工艺流程 | 第49-51页 |
| 4.3 MOEMS扫描光栅微镜版图设计 | 第51-53页 |
| 4.4 MOEMS扫描光栅微镜结构测试 | 第53-55页 |
| 4.4.1 光栅参数测试 | 第53页 |
| 4.4.2 机械结构尺寸测试 | 第53-54页 |
| 4.4.3 驱动线圈与传感线圈测试 | 第54-55页 |
| 4.5 MOEMS扫描光栅微镜封装设计 | 第55-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 论文主要工作总结 | 第57页 |
| 5.2 进一步工作与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 附录 | 第64页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表论文 | 第64页 |