| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| 1.1 表面疵病的定义 | 第7-8页 |
| 1.2 表面疵病的危害 | 第8页 |
| 1.3 表面疵病检测的发展 | 第8-9页 |
| 1.4 本论文的主要研究内容 | 第9-10页 |
| 2 超光滑表面的疵病评价标准和检测 | 第10-17页 |
| 2.1 国内外疵病的评价标准 | 第10页 |
| 2.1.1 中国国家标准GB1185-1989 | 第10页 |
| 2.1.2 美国国家标准 | 第10页 |
| 2.1.3 国际标准 | 第10页 |
| 2.2 国内外现有的疵病检测方法 | 第10-15页 |
| 2.2.1 触针法测量 | 第11页 |
| 2.2.2 非接触法测量 | 第11-15页 |
| 2.3 目前现有的疵病检测的不足分析 | 第15-17页 |
| 3 CCD散射显微镜的成像系统 | 第17-39页 |
| 3.1 被测件的测试需求分析 | 第17-18页 |
| 3.1.1 陀螺光腔内反镜的大小尺寸及结构特点 | 第17页 |
| 3.1.2 陀螺光腔内反镜的超光滑加工流程及其精度要求 | 第17-18页 |
| 3.1.3 陀螺光腔内反镜的测试需求 | 第18页 |
| 3.1.4 表面疵病对于不同入射光的散射特征 | 第18页 |
| 3.2 检测原理 | 第18-22页 |
| 3.3 系统方案 | 第22-38页 |
| 3.3.1 显微成像系统 | 第23-30页 |
| 3.3.2 照明光学系统 | 第30-32页 |
| 3.3.3 平移旋转驱动系统 | 第32-37页 |
| 3.3.4 图像采集处理分析系统 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 疵病图像处理的分析和结果 | 第39-56页 |
| 4.1 软件系统流程图 | 第39-40页 |
| 4.2 疵病图像处理的分析和结果 | 第40-54页 |
| 4.2.1 图像的空间滤波 | 第40-42页 |
| 4.2.2 图像匹配算法 | 第42-43页 |
| 4.2.3 图像的融合算法 | 第43-45页 |
| 4.2.4 检测疵病 | 第45-47页 |
| 4.2.5 边缘提取 | 第47-49页 |
| 4.2.6 实验与结果分析 | 第49-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 5 结论与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 论文总结 | 第56-57页 |
| 5.2 未来展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录 | 第63页 |