| 摘要 | 第11-13页 |
| Abstract | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第15-39页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-19页 |
| 1.2 太赫兹相控阵雷达及其信号预处理 | 第19-28页 |
| 1.2.1 太赫兹波段电磁波特性 | 第19-23页 |
| 1.2.2 相控阵雷达 | 第23-25页 |
| 1.2.3 移相器 | 第25-28页 |
| 1.3 BST铁电薄膜移相器研究现状 | 第28-35页 |
| 1.3.1 均匀共面波导型移相器 | 第30-32页 |
| 1.3.2 分布电容型移相器 | 第32-33页 |
| 1.3.3 反射型移相器 | 第33页 |
| 1.3.4 伪传输线型移相器 | 第33-35页 |
| 1.4 太赫兹铁电薄膜移相器研制面临的挑战 | 第35-36页 |
| 1.5 本文主要工作 | 第36-37页 |
| 1.6 本文结构 | 第37-39页 |
| 第二章 BST薄膜的制备与表征 | 第39-65页 |
| 2.1 BST薄膜制与表征研究现状 | 第39-41页 |
| 2.2 BST薄膜制备研究 | 第41-50页 |
| 2.2.1 BST靶材组分选择 | 第41-42页 |
| 2.2.2 PLD参数确定方法 | 第42-43页 |
| 2.2.3 BST薄膜制备 | 第43-47页 |
| 2.2.4 高温后退火改性研究 | 第47-50页 |
| 2.3 BST/hrSi高频特性表征 | 第50-64页 |
| 2.3.1 CPW制备与测试 | 第50-52页 |
| 2.3.2 传播常数测量 | 第52-54页 |
| 2.3.3 薄膜介电常数提取 | 第54-64页 |
| 2.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第三章 左手传输线型BST薄膜移相器研究 | 第65-89页 |
| 3.1 左手传输线型BST薄膜移相器研究现状 | 第65-68页 |
| 3.2 左手传输线原理分析 | 第68-70页 |
| 3.3 左手传输线型移相器结构设计与仿真 | 第70-79页 |
| 3.3.1 HFSS-MatLab-API仿真平台 | 第70-71页 |
| 3.3.2 左手传输线移相器基本结构优化 | 第71-76页 |
| 3.3.3 周期电感左手移相器 | 第76-79页 |
| 3.4 低损耗左手移相器结构研究 | 第79-83页 |
| 3.4.1 Cr偏置电压线左手移相器设计与仿真 | 第79-82页 |
| 3.4.2 图形化BST左手移相器设计与仿真 | 第82-83页 |
| 3.5 左手传输线移相器制备与测试 | 第83-86页 |
| 3.6 本章小结 | 第86-89页 |
| 第四章 分布电容BST薄膜移相器研究 | 第89-107页 |
| 4.1 分布电容型薄膜移相器研究现状 | 第89-94页 |
| 4.2 分布电容移相器设计与仿真 | 第94-97页 |
| 4.3 分布电容移相器低损耗设计 | 第97-100页 |
| 4.3.1 Cr电容连接线分布型移相器 | 第98-99页 |
| 4.3.2 图形化BST分布型移相器 | 第99-100页 |
| 4.4 分布电容移相器制备与测试 | 第100-105页 |
| 4.5 本章小节 | 第105-107页 |
| 第五章 石墨烯电极移相器探索 | 第107-117页 |
| 5.1 石墨烯微波传输线研究现状 | 第107-110页 |
| 5.2 石墨烯制备与表征 | 第110-113页 |
| 5.3 移相器石墨烯电极设计与制备 | 第113-116页 |
| 5.4 本章小结 | 第116-117页 |
| 第六章 结束语 | 第117-121页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第117-119页 |
| 6.2 课题研究展望 | 第119-121页 |
| 致谢 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-133页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第133-134页 |