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阻变存储单元的防串扰特性及γ射线总剂量效应研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第11-30页
    1.1 引言第11-13页
    1.2 半导体存储器第13-21页
        1.2.1 传统的半导体存储器第14-16页
        1.2.2 阻变随机存储器简介第16-18页
        1.2.3 阻变存储器工作原理第18-21页
    1.3 高密度存储阵列中的串扰效应第21-22页
    1.4 辐射损伤及阻变单元的空间应用第22-27页
        1.4.1 辐射效应对材料的损伤第23-24页
        1.4.2 阻变单元的总剂量效应第24-27页
    1.5 选题依据和研究内容第27-30页
        1.5.1 选题依据第27-28页
        1.5.2 研究内容第28-30页
第2章 Pt/Cu_2O/FTO单元的防串扰特性第30-50页
    2.1 引言第30-32页
    2.2 Pt/Cu_2O/FTO单元的制备第32-35页
    2.3 Cu_2O薄膜的表征第35-39页
        2.3.1 结构表征第35-36页
        2.3.2 价态分析第36-39页
    2.4 Pt/Cu_2O/FTO单元的电学特性第39-42页
        2.4.1 互补型阻变特性第39-40页
        2.4.2 开关电压分布第40-41页
        2.4.3 保持及重复特性第41-42页
    2.5 互补型阻变机制第42-49页
        2.5.1 导电机制第42-47页
        2.5.2 机理模型第47-49页
    2.6 本章小结第49-50页
第3章 WO_x基阻变单元的防串扰特性第50-78页
    3.1 引言第50-54页
    3.2 WO_x基单元的制备第54-55页
    3.3 Pt/WO_x/FTO单元的电学性能调控第55-61页
        3.3.1 Pt/WO_x/FTO单元中的电学特性第55-57页
        3.3.2 WO_x薄膜的价态分析第57-61页
    3.4 Pt/WO_x/Pt单元的结构与成分表征第61-64页
        3.4.1 结构表征第61页
        3.4.2 价态分析第61-64页
    3.5 Pt/WO_x/Pt单元的电学特性第64-71页
        3.5.1 非线性转变特性第64-65页
        3.5.2 多级存储特性第65-70页
        3.5.3 电流、时间、温度的关联分析第70-71页
    3.6 基于氧空位的阻变机制分析第71-76页
        3.6.1 导电机制第71-72页
        3.6.2 氧空位的形成第72-73页
        3.6.3 阻温特性第73-76页
    3.7 本章小结第76-78页
第4章 Pt/Cu_2O/WO_x/FTO单元的防串扰特性第78-98页
    4.1 引言第78-84页
    4.2 Pt/Cu_2O/WO_x/FTO单元的制备第84-85页
    4.3 Cu_2O/WO_x异质结构的微观表征第85-87页
        4.3.1 结构表征第85-86页
        4.3.2 元素分析第86-87页
    4.4 Pt/Cu_2O/WO_x/FTO单元的电学特性第87-90页
        4.4.1 阻变特性第87-88页
        4.4.2 重复特性第88-89页
        4.4.3 保持特性第89-90页
    4.5 理论集成密度的计算第90-92页
        4.5.1 计算模型与方法第90-92页
        4.5.2 集成密度计算第92页
    4.6 Cu_2O/WO_x异质结构的阻变机理模型第92-97页
        4.6.1 1X1R结构的转变特性与电压操作第92-94页
        4.6.2 Cu_2O/WO_x异质结构的阻变机制第94-97页
    4.7 本章小结第97-98页
第5章 Pt/WO_x/Pt单元的总剂量效应研究第98-109页
    5.1 引言第98页
    5.2 样品制备与辐射源的选择第98-99页
    5.3 辐照前后的电阻转变特性第99-100页
    5.4 辐照前后的器件参数分布第100-104页
        5.4.1 开、关电压值分布第100-102页
        5.4.2 高、低电阻值分布第102-104页
    5.5 辐照前后的状态保持特性第104-106页
        5.5.1 数据保持特性测试第104-105页
        5.5.2 预设单元阻值测试第105-106页
    5.6 辐照对阻变行为的影响第106-107页
    5.7 本章小结第107-109页
第6章 总结与展望第109-111页
    6.1 全文总结第109-110页
    6.2 研究展望第110-111页
参考文献第111-125页
致谢第125-126页
攻读博士学位期间发表的学术论文及专利第126页

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