| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 选题背景和意义 | 第7-8页 |
| 1.1.1 MEMS的发展现状简介 | 第7页 |
| 1.1.2 弱小力的研究现状 | 第7-8页 |
| 1.2 微纳镜的研究现状 | 第8-11页 |
| 1.2.1 微纳镜的研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2.2 微纳镜的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 研究意义 | 第11页 |
| 1.4 研究内容与章节安排 | 第11-13页 |
| 第二章 弱小力对扭转微纳镜的影响的弯曲耦合模型 | 第13-18页 |
| 2.1 引言 | 第13页 |
| 2.2 扭转微纳镜的弯曲耦合模型 | 第13-17页 |
| 2.2.1 无弱小力弯曲耦合模型 | 第13-15页 |
| 2.2.2 无弱小力纯扭转模型 | 第15页 |
| 2.2.3 同时考虑范德瓦尔斯力和卡西米尔力的弯曲耦合模型 | 第15-16页 |
| 2.2.4 考虑卡西米尔力的弯曲耦合模型 | 第16-17页 |
| 2.2.5 考虑卡西米尔力的扭转模型 | 第17页 |
| 2.3 小结 | 第17-18页 |
| 第三章 弱小力对扭转微纳镜静态特性的影响分析 | 第18-36页 |
| 3.1 引言 | 第18页 |
| 3.2 卡西米尔力对扭转微纳镜的影响分析 | 第18-27页 |
| 3.2.1 归一化参数的微纳镜 | 第18-23页 |
| 3.2.2 具体实例微纳镜 | 第23-27页 |
| 3.3 范德瓦尔斯力和卡西米尔力对微纳镜的影响分析 | 第27-34页 |
| 3.3.1 归一化参数微纳镜 | 第27-31页 |
| 3.3.2 微纳镜实例 | 第31-34页 |
| 3.4 小结 | 第34-36页 |
| 第四章 温度效应对静电驱动扭转微纳镜静态特性的影响 | 第36-42页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 考虑温度效应的扭转微纳镜静力学模型 | 第36-37页 |
| 4.3 数值仿真与结果分析 | 第37-41页 |
| 4.3.1 温度对微纳镜静态特性的影响 | 第38-40页 |
| 4.3.2 温度对吸合电压的影响 | 第40-41页 |
| 4.4 小结 | 第41-42页 |
| 第五章 总结与展望 | 第42-44页 |
| 5.1 总结 | 第42-43页 |
| 5.2 展望 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第49-50页 |
