无回馈激光干涉的三自由度测量方法
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 引言 | 第11-15页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·本课题研究的目的与意义 | 第11页 |
| ·选题背景以及各国研究现状 | 第11-13页 |
| ·本课题研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 基于三反射镜的干涉系统设计 | 第15-28页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·迈克尔逊干涉仪测量位移的原理 | 第15-18页 |
| ·基于三反射镜的激光干涉系统 | 第18-20页 |
| ·设计思想 | 第18-19页 |
| ·三反射目标镜的设计 | 第19-20页 |
| ·光路的分析计算与理论推导 | 第20-23页 |
| ·仿真及验证 | 第23-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 条纹形状识别及光束夹角的理论计算 | 第28-34页 |
| ·干涉条纹形状与光束夹角的理论关系 | 第28-29页 |
| ·干涉理论 | 第28页 |
| ·干涉条纹形状与光线夹角的理论关系 | 第28-29页 |
| ·干涉条纹形状的识别 | 第29-30页 |
| ·四象限光电探测器对条纹信息的识别 | 第30-31页 |
| ·“田”字型四象限光电探测器的识别法 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 第4章 数据采集的软硬件设计 | 第34-48页 |
| ·整体实施方案 | 第34页 |
| ·PZT硬件驱动电路 | 第34-35页 |
| ·信号采集及 PWM 消除直流漂移 | 第35-39页 |
| ·基于STM32 的A/D转换系统 | 第39-43页 |
| ·总体实施方案 | 第40-41页 |
| ·ADC 数模转换模块 | 第41-43页 |
| ·基于椭圆拟合的相差识别算法 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 实验结果与误差分析 | 第48-52页 |
| ·角度测量结果分析 | 第48-50页 |
| ·误差来源分析 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第52-54页 |
| ·全文总结 | 第52页 |
| ·课题展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 附录2 课题部分程序清单 | 第59-6页 |
