| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·课题的研究背景 | 第10-11页 |
| ·氧化铝陶瓷基片的制备与性质 | 第11-14页 |
| ·氧化铝陶瓷的选择和成型工艺 | 第11-13页 |
| ·流延成型工艺 | 第13-14页 |
| ·钨金属化浆料与丝网印刷工艺 | 第14-20页 |
| ·钨浆料的组成 | 第14-16页 |
| ·钨浆料的特性 | 第16页 |
| ·陶瓷基板的丝网印刷 | 第16-20页 |
| ·高温共烧工艺 | 第20-21页 |
| ·热脱脂工艺 | 第20页 |
| ·高温共烧 | 第20-21页 |
| ·课题的目的和意义 | 第21-23页 |
| 第二章 实验材料与方法 | 第23-33页 |
| ·实验主要原料和设备 | 第23-25页 |
| ·实验的主要原料 | 第23-24页 |
| ·实验使用的主要仪器设备 | 第24-25页 |
| ·实验流程 | 第25页 |
| ·氧化铝陶瓷基片的制备 | 第25-27页 |
| ·流延浆料的制备 | 第25-26页 |
| ·流延基片的制备 | 第26-27页 |
| ·氧化铝陶瓷基片的钨金属化 | 第27-29页 |
| ·钨金属化浆料的制备 | 第27页 |
| ·钨金属浆料的配方 | 第27-28页 |
| ·丝网印刷 | 第28页 |
| ·丝网印刷工艺 | 第28-29页 |
| ·叠层 | 第29页 |
| ·金属化陶瓷基片的高温共烧 | 第29-30页 |
| ·热脱脂 | 第29-30页 |
| ·高温烧结 | 第30页 |
| ·基本性能分析测试 | 第30-33页 |
| ·粘度测试 | 第30页 |
| ·气孔率和体积密度的测试 | 第30-31页 |
| ·收缩率测试 | 第31页 |
| ·显微分析 | 第31页 |
| ·SEM分析 | 第31-32页 |
| ·方阻测试 | 第32-33页 |
| 第三章 氧化铝陶瓷基片的制备和性能研究 | 第33-40页 |
| ·氧化铝流延浆料的固含量对粘度的影响 | 第33-34页 |
| ·氧化铝陶瓷基片的流延成型工艺 | 第34-38页 |
| ·流延温度的影响 | 第34-35页 |
| ·流延气氛的影响 | 第35-37页 |
| ·流延浆料液位的影响 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 钨金属浆料的性能和丝网印刷工艺研究 | 第40-50页 |
| ·钨浆料固含量对粘度的影响 | 第40-42页 |
| ·转子转速对浆料粘度的影响 | 第40-41页 |
| ·浆料固含量对粘度的影响 | 第41-42页 |
| ·丝网印刷工艺对印刷效果的影响 | 第42-49页 |
| ·浆料固含量的影响 | 第42-44页 |
| ·离网间距的影响 | 第44-45页 |
| ·刮刀角度的影响 | 第45-47页 |
| ·刮刀歪度的影响 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 氧化铝基片与钨金属浆料的高温共烧和性能检测 | 第50-62页 |
| ·共烧工艺的确定 | 第50-52页 |
| ·还原钨粉对钨金属层性能的影响 | 第52-53页 |
| ·金属化氧化铝基片的性能测试 | 第53-60页 |
| ·烧结收缩率的匹配性 | 第53-55页 |
| ·烧结温度对体积密度、气孔率的影响 | 第55-56页 |
| ·不同烧结温度的SEM分析 | 第56-59页 |
| ·方阻的测试与分析 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第六章 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67页 |