| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| 第一节 研究背景 | 第12-13页 |
| 第二节 软磁材料 | 第13-17页 |
| ·软磁薄膜的分类 | 第13-15页 |
| ·磁性吸波材料的原理 | 第15-17页 |
| 第三节 铁磁体-绝缘体的颗粒膜 | 第17-23页 |
| ·铁磁性氧化物颗粒膜 | 第17-20页 |
| ·铁磁体-绝缘体颗粒膜 | 第20-21页 |
| ·铁磁体/绝缘体多层膜 | 第21-23页 |
| 第四节 研究动机及研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 样品的制备方法及分析测试的技术 | 第25-41页 |
| 第一节 磁控溅射制备技术 | 第25-31页 |
| ·磁控溅射 | 第26-28页 |
| ·磁控溅射设备 | 第28-30页 |
| ·制备过程 | 第30-31页 |
| 第二节 薄膜分析测试技术 | 第31-41页 |
| ·交流梯度磁强计(AGM) | 第31-32页 |
| ·超导量子干涉仪(SQUID) | 第32-34页 |
| ·X射线衍射仪 | 第34-35页 |
| ·原子力显微镜 | 第35-36页 |
| ·四探针法 | 第36-37页 |
| ·复磁导率测量系统 | 第37-40页 |
| ·铁磁共振系统 | 第40-41页 |
| 第三章 柔性衬底上生长的FeCoB-CoFe_2O_4颗粒膜的软磁特性和高频特性 | 第41-50页 |
| 第一节 引言 | 第41-43页 |
| 第二节 样品的制备 | 第43-45页 |
| ·颗粒膜中CoFe_2O_4成分含量的确定 | 第43-45页 |
| ·制备方法 | 第45页 |
| 第三节 样品的形貌和结构 | 第45-46页 |
| 第四节 样品的静态磁性 | 第46-48页 |
| 第五节 样品的高频特性 | 第48-49页 |
| 第六节 实验结果与讨论 | 第49-50页 |
| 第四章 柔性衬底上生长的FeCoB-CoFe_2O_4成分梯度颗粒膜的性能研究 | 第50-57页 |
| 第一节 引言 | 第50页 |
| 第二节 结构设计和样品制备 | 第50-52页 |
| 第三节 样品的形貌和结构 | 第52-53页 |
| 第四节 薄膜的静态磁性 | 第53-54页 |
| 第五节 铁磁共振谱 | 第54-55页 |
| 第六节 实验结果与讨论 | 第55-57页 |
| 第五章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第67页 |