| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·薄膜制备方法简介 | 第11-13页 |
| ·物理气相沉积方法 | 第11-12页 |
| ·化学气相沉积方法 | 第12-13页 |
| ·纳米多层膜的研究现状 | 第13-17页 |
| ·纳米多层膜的调制参数 | 第13-14页 |
| ·纳米多层膜的性能研究现状 | 第14-17页 |
| ·力学性能研究 | 第14-15页 |
| ·电学性能研究 | 第15页 |
| ·光学性能研究 | 第15-16页 |
| ·磁学性能研究 | 第16页 |
| ·摩擦磨损性能研究 | 第16-17页 |
| ·纳米多层膜的致硬机理研究 | 第17-19页 |
| ·金属/陶瓷多层膜的研究现状 | 第19-20页 |
| ·本文选题依据、研究内容及技术路线 | 第20-24页 |
| ·本文选题依据 | 第20-21页 |
| ·本文研究内容及目的 | 第21-22页 |
| ·技术路线 | 第22-24页 |
| 第二章 实验材料及制备方法 | 第24-36页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第24-25页 |
| ·射频磁控溅射原理 | 第24-25页 |
| ·直流磁控溅射原理 | 第25页 |
| ·实验设备及实验原料简介 | 第25-27页 |
| ·实验设备简介 | 第25-26页 |
| ·实验原料 | 第26-27页 |
| ·靶材及衬底预处理 | 第27页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第27-29页 |
| ·制备工艺流程 | 第27-28页 |
| ·样品设计参数 | 第28-29页 |
| ·薄膜的结构及性能测试方法 | 第29-35页 |
| ·薄膜的沉积率测定 | 第29-30页 |
| ·薄膜的表面观察及断面分析(AFM及SEM) | 第30页 |
| ·物相分析(XRD) | 第30页 |
| ·X射线光电子能谱仪(XPS)分析 | 第30-31页 |
| ·透射电镜(TEM)分析 | 第31页 |
| ·膜基结合力测试 | 第31-32页 |
| ·纳米压痕测试 | 第32-34页 |
| ·摩擦磨损测试 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 Al_2O_3及Al薄膜的正交试验 | 第36-50页 |
| 3.l Al_2O_3薄膜正交试验设计 | 第36-37页 |
| ·Al_2O_3薄膜正交实验结果分析 | 第37-39页 |
| ·工艺参数对Al_2O_3薄膜沉积速率的影响研究 | 第37-38页 |
| ·工艺参数对Al_2O_3薄膜硬度的影响研究 | 第38-39页 |
| ·射频功率对Al_2O_3薄膜的结构及沉积率的影响研究 | 第39-43页 |
| ·射频磁控溅射制备Al_2O_3薄膜的工艺参数 | 第39页 |
| ·结果分析及讨论 | 第39-43页 |
| ·沉积态Al_2O_3薄膜的XRD及TEM分析 | 第40页 |
| ·沉积态Al_2O_3薄膜的EDX分析 | 第40-41页 |
| ·沉积态Al_2O_3薄膜的AFM分析 | 第41-42页 |
| ·射频功率对Al_2O_3薄膜沉积率的影响 | 第42-43页 |
| ·Al膜正交试验设计 | 第43-45页 |
| ·Al膜正交实验结果分析 | 第45-47页 |
| ·各因素对Al膜沉积速率的影响 | 第45-46页 |
| ·各因素对Al膜硬度的影响 | 第46-47页 |
| ·最佳工艺条件下Al膜的结构及性能 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-50页 |
| 第四章 Al/Al_2O_3多层膜的制备及结构分析 | 第50-62页 |
| ·Al/Al_2O_3多层膜的制备工艺 | 第50页 |
| ·Al/Al_2O_3多层膜的物相(XRD)分析 | 第50-54页 |
| ·不同调制比Al/Al_2O_3多层膜XRD分析 | 第50-53页 |
| ·不同调制周期Al/Al_2O_3纳米多层膜XRD分析 | 第53-54页 |
| ·Al/Al_2O_3纳米多层膜断面形貌分析 | 第54-55页 |
| ·Al/Al_2O_3纳米多层膜表面形貌分析 | 第55-59页 |
| ·l 不同调制比Al/Al_2O_3多层膜AFM分析 | 第55-57页 |
| ·不同调制周期Al/Al_2O_3纳米多层膜AFM分析 | 第57-59页 |
| ·Al/Al_2O_3纳米多层膜表层XPS分析 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 Al/Al_2O_3多层膜的性能 | 第62-78页 |
| ·Al/Al_2O_3多层膜的膜基结合力研究 | 第62-66页 |
| ·Al/Al_2O_3多层膜硬度及弹性模量测试结果的分析与研究 | 第66-73页 |
| ·Al/Al_2O_3多层膜的硬度检测结果分析 | 第66-69页 |
| ·Al/Al_2O_3多层膜的弹性模量检测结果分析 | 第69-71页 |
| ·Al/Al_2O_3多层膜的致硬机理分析 | 第71-73页 |
| ·Al/Al_2O_3多层膜的摩擦磨损性能 | 第73-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 第六章 结论 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-92页 |
| 附录A：攻读硕士学位期间发表论文及获奖情况 | 第92-94页 |
