基于激光干涉技术的微纳结构制造研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·微细加工技术 | 第14-20页 |
| ·腐蚀技术 | 第15页 |
| ·沉积技术 | 第15-16页 |
| ·光刻技术 | 第16页 |
| ·LIGA 工艺 | 第16-17页 |
| ·探针工艺 | 第17-18页 |
| ·自组装技术 | 第18-19页 |
| ·纳米压印技术 | 第19-20页 |
| ·其他一些微加工技术 | 第20页 |
| ·激光器和激光制造系统 | 第20-24页 |
| ·激光器的发展及其在机械制造中的应用 | 第20-23页 |
| ·激光加工系统 | 第23-24页 |
| ·光子学材料 | 第24-27页 |
| ·金属材料加工 | 第25页 |
| ·硅材料加工 | 第25页 |
| ·光子学聚合物材料 | 第25-27页 |
| ·本论文的研究内容 | 第27-28页 |
| 参考文献 | 第28-31页 |
| 第2章 偶氮苯聚合物光响应性质 | 第31-53页 |
| ·引言 | 第31-32页 |
| ·偶氮苯聚合物的光致异构特性 | 第32-33页 |
| ·偶氮苯聚合物的光致移动及其应用 | 第33-39页 |
| ·分子运动 | 第34-35页 |
| ·光致取向 | 第35-37页 |
| ·液晶微畴移动 | 第37-38页 |
| ·光致质量迁移 | 第38页 |
| ·大尺度移动-光机效应 | 第38-39页 |
| ·光致取向 | 第39-42页 |
| ·影响偶氮苯聚合物光致取向的因素 | 第42-49页 |
| ·不同取代基对光致取向速度的影响 | 第43-45页 |
| ·不同交联度对光致双折射稳定性的影响 | 第45-46页 |
| ·掺银纳米粒子对光致取向速度和稳定性的影响 | 第46-49页 |
| ·小结 | 第49页 |
| 参考文献 | 第49-53页 |
| 第3章 激光干涉技术制造微纳结构 | 第53-83页 |
| ·引言 | 第53-54页 |
| ·激光干涉理论 | 第54-56页 |
| ·双光束偏振全息干涉技术 | 第56-62页 |
| ·多光束激光干涉对微结构的影响 | 第62-66页 |
| ·参数控制的三光束干涉 | 第66-76页 |
| ·干涉光相位对能量分布的影响 | 第66-68页 |
| ·干涉光偏振态对能量分布的影响 | 第68-73页 |
| ·干涉光束能量比例对干涉场能量分布的影响 | 第73-76页 |
| ·多曝光技术制造准周期微纳结构 | 第76-78页 |
| ·小结 | 第78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 第4章 偶氮苯聚合物光致质量迁移机理分析 | 第83-103页 |
| ·光致质量迁移机理概述 | 第83-86页 |
| ·光致质量迁移的电场力模型 | 第86-88页 |
| ·实验 | 第88-93页 |
| ·材料 | 第88-89页 |
| ·三光束干涉用于制作凸起阵列结构 | 第89-90页 |
| ·双光束干涉诱导偶氮结构变形 | 第90-91页 |
| ·单光束照射诱导偶氮结构变形 | 第91-93页 |
| ·讨论 | 第93-98页 |
| ·小结 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-103页 |
| 第5章 双尺度微纳结构制造 | 第103-133页 |
| ·引言-双尺度结构的产生和应用 | 第103-107页 |
| ·光学可控的双尺度结构 | 第107-109页 |
| ·偶氮苯聚合物双尺度结构的产生 | 第109-112页 |
| ·偶氮双尺度结构的制造 | 第112-122页 |
| ·材料和性质 | 第112-113页 |
| ·AzoCN 材料的双尺度结构 | 第113-119页 |
| ·AzoCH3 材料上双尺度结构 | 第119-122页 |
| ·理论模型 | 第122-128页 |
| ·小结 | 第128-129页 |
| 参考文献 | 第129-133页 |
| 第6章 轴对称偏振光产生技术研究 | 第133-147页 |
| ·引言 | 第133-135页 |
| ·利用钒酸钇晶体产生轴对称偏振光 | 第135-140页 |
| ·钒酸钇晶体 | 第135-136页 |
| ·利用C 切钒酸钇晶体产生轴对称偏振光 | 第136-140页 |
| ·轴对称相位延迟片制作 | 第140-144页 |
| ·实验原理 | 第140-141页 |
| ·实验结果与讨论 | 第141-144页 |
| ·小结 | 第144-145页 |
| 参考文献 | 第145-147页 |
| 第7章 总结与展望 | 第147-151页 |
| ·本文内容总结 | 第147-149页 |
| ·本文创新之处 | 第149页 |
| ·后续工作展望 | 第149-151页 |
| 博士期间发表的论文和其他研究成果 | 第151-153页 |
| 致谢 | 第153-154页 |
