| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·研究背景 | 第7页 |
| ·研究现状 | 第7-9页 |
| ·论文结构 | 第9-11页 |
| 第二章 微波器件低频噪声和可靠性 | 第11-21页 |
| ·微波PHEMT器件结构及工作原理 | 第11-13页 |
| ·微波PHEMT器件结构 | 第11-13页 |
| ·PHEMT器件工作原理 | 第13页 |
| ·微波器件低频噪声来源 | 第13-16页 |
| ·低频噪声用于诊断半导体器件可靠性 | 第16-17页 |
| ·微波器件失效模式及失效机理 | 第17-21页 |
| ·微波分立器件的失效模式及失效机理 | 第17-18页 |
| ·微波集成电路的失效模式及失效机理 | 第18-21页 |
| 第三章 微波PHEMT器件低频噪声测试及噪声诊断方法 | 第21-37页 |
| ·微波器件测试系统 | 第21-24页 |
| ·试验样品的选择及条件 | 第21页 |
| ·电学参数测试系统 | 第21-22页 |
| ·低频噪声测试系统 | 第22-24页 |
| ·电学参数热应力退化分析 | 第24-26页 |
| ·漏电流退化分析 | 第24-25页 |
| ·跨导退化分析 | 第25-26页 |
| ·微波器件低频噪声特性研究 | 第26-34页 |
| ·微波器件低频噪声测试结果 | 第26-28页 |
| ·微波器件的低频噪声特性 | 第28-29页 |
| ·微波器件噪声用于诊断缺陷 | 第29-33页 |
| ·微波器件低频噪声表征与电参数表征对比 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-37页 |
| 第四章 微波集成电路低频噪声测试 | 第37-53页 |
| ·概述 | 第37-38页 |
| ·常见集成电路的失效诊断方法 | 第38-41页 |
| ·常见集成电路的失效诊断方法 | 第38-40页 |
| ·低频噪声用于电路诊断的现状 | 第40-41页 |
| ·微波集成电路低频噪声测试 | 第41-51页 |
| ·噪声测试方案 | 第41-42页 |
| ·微波集成电路的噪声特性 | 第42-49页 |
| ·噪声灵敏表征参量的提取 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 结论 | 第53-55页 |
| ·论文总结 | 第53页 |
| ·展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士期间成果 | 第61页 |