双层减反射膜的理论模拟及其在太阳电池上的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-12页 |
| ·研究工作背景 | 第9-10页 |
| ·主要研究工作及意义 | 第10-12页 |
| 第二章 太阳电池的制备工艺 | 第12-19页 |
| ·表面处理 | 第12-15页 |
| ·清洗减薄 | 第13页 |
| ·绒面制备 | 第13-15页 |
| ·P-N 结制备 | 第15-16页 |
| ·减反膜 | 第16-17页 |
| ·电极制备 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 钝化原理 | 第19-31页 |
| ·钝化机理介绍 | 第19-22页 |
| ·半导体内的复合机制 | 第19-20页 |
| ·表面复合 | 第20-22页 |
| ·钝化方法 | 第22-24页 |
| ·表面化学钝化 | 第22-23页 |
| ·SiO_2 钝化工艺 | 第23页 |
| ·背场(BSF)钝化工艺 | 第23-24页 |
| ·SiN_x 钝化 | 第24页 |
| ·SiO_2 的性质及其界面特性 | 第24-27页 |
| ·SiO_2 的性质 | 第24-25页 |
| ·Si‐SiO_2 界面特性 | 第25-27页 |
| ·钝化质量的衡量 | 第27-28页 |
| ·少子寿命测试原理 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 低温生长 SiO_2薄膜及其特性分析 | 第31-42页 |
| ·SiO_2 薄膜的制备 | 第31-32页 |
| ·实验结果及测试分析 | 第32-41页 |
| ·温度的影响 | 第32-36页 |
| ·氧气流量的影响 | 第36-38页 |
| ·氧化时间的影响 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 太阳电池减反射膜设计 | 第42-51页 |
| ·减反射原理 | 第42-44页 |
| ·评价函数 | 第44-45页 |
| ·模拟计算 | 第45-48页 |
| ·结果讨论 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第六章 双层减反射膜的制备及特性分析 | 第51-61页 |
| ·TiO_2 的制备 | 第51-53页 |
| ·TiO_2 的性质 | 第51-52页 |
| ·TiO_2 的制备 | 第52-53页 |
| ·双层膜太阳电池制备及特性分析 | 第53-60页 |
| ·钝化效果分析 | 第54-55页 |
| ·光反射分析 | 第55-57页 |
| ·太阳电池特征参数 | 第57-58页 |
| ·内外量子效率 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第七章 总结 | 第61-63页 |
| ·主要结论 | 第61-62页 |
| ·研究展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
