表面粗化提高AlGaInP LEDs外量子效率

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-13页
·引言	第7页
·发光二极管的发展及应用	第7-10页
·发光二极管的发展回顾	第7-9页
·发光二极管的应用	第9-10页
·AlGaInP LEDs发展现状及研究意义	第10-11页
·本论文的主要内容	第11-13页
第二章 AlGaInP LEDs发光效率提升方法	第13-23页
·内量子效率的提升	第13-15页
·外量子效率的提升	第15-23页
第三章 表面粗化技术	第23-32页
·粗糙化技术	第23-27页
·表面粗糙度	第23-25页
·LEDs表面粗化原理	第25-27页
·刻蚀原理	第27-29页
·湿法蚀刻原理	第27-28页
·ICP干法刻蚀原理	第28-29页
·表面形貌测试手段	第29-32页
·扫描式电子显微镜(SEM)	第29-30页
·原子力显微镜(AFM)	第30-32页
第四章 传统正装AlGaInP LEDs表面粗化	第32-48页
·传统正装AlGInP LEDs结构分析	第32-34页
·传统正装AlGaInP LEDs粗化思路分析	第34-35页
·粗化层分析	第34-35页
·粗化方案	第35页
·传统正装AlGaInP LEDs工艺制作流程	第35-37页
·传统正装AlGaInP LEDs粗化及测试分析	第37-48页
·方案一：湿法粗化	第37-40页
·方案二：干法粗化	第40-44页
·方案三：干湿法结合粗化	第44-48页
第五章 倒装AlGaInP LEDs表面粗化	第48-60页
·倒装AlGaInP LEDs结构分析及设计	第48-49页
·倒装AlGaInP LEDs粗化思路分析	第49页
·倒装AlGalnP LEDs工艺制作流程	第49-53页
·倒装AlGalnP LEDs粗化及测试分析	第53-60页
结论	第60-61页
致谢	第61-62页
附录	第62-63页
参考文献	第63-64页