微小凹坑阵列电化学加工技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| ·课题背景 | 第12-13页 |
| ·微小凹坑阵列加工技术的发展现状 | 第13-17页 |
| ·自激振动加工方法 | 第13-14页 |
| ·激光珩磨方法 | 第14-15页 |
| ·电火花加工方法 | 第15页 |
| ·超声冲击加工方法 | 第15-16页 |
| ·机械冲击加工方法 | 第16页 |
| ·低频振动刮削方法 | 第16-17页 |
| ·课题的研究意义及主要内容 | 第17-19页 |
| ·课题的研究目的及意义 | 第17页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 电解加工理论基础 | 第19-28页 |
| ·电解加工的基本原理和特点 | 第19-22页 |
| ·电解加工的基本原理 | 第19页 |
| ·法拉第定律 | 第19-21页 |
| ·电解加工的特点 | 第21-22页 |
| ·电解加工基本理论 | 第22-25页 |
| ·阳极极化 | 第22-23页 |
| ·电解加工间隙的电场特性 | 第23-25页 |
| ·照相电解加工 | 第25-26页 |
| ·电液束加工 | 第26-28页 |
| 第三章 毛细管电极电液束加工微小凹坑的试验研究 | 第28-53页 |
| ·毛细管电极简介 | 第28-29页 |
| ·毛细管电极电液束加工微小凹坑的机理分析 | 第29-32页 |
| ·试验原理 | 第29-30页 |
| ·电场分析 | 第30-32页 |
| ·毛细管电极电液束加工系统的建立 | 第32-38页 |
| ·微细电解加工机床 | 第32-33页 |
| ·电解液循环系统 | 第33-35页 |
| ·毛细管电极夹具头的设计及装夹方式的选择 | 第35-37页 |
| ·毛细管电液束加工对刀系统的设计 | 第37-38页 |
| ·毛细管电极电液束加工微小凹坑试验及分析 | 第38-44页 |
| ·电流密度对凹坑的影响 | 第39-42页 |
| ·电流密度对凹坑直径的影响 | 第40-41页 |
| ·电流密度对凹坑表面质量的影响 | 第41-42页 |
| ·电解液压力对凹坑形状的影响 | 第42-44页 |
| ·加工间隙对凹坑形状的影响 | 第44页 |
| ·毛细管阵列电极加工凹坑阵列结构的试验及分析 | 第44-52页 |
| ·阵列电极装夹系统的构建 | 第45-46页 |
| ·电液束加工凹坑阵列结构试验及分析 | 第46-51页 |
| ·毛细管间距对凹坑阵列形状的影响 | 第46-48页 |
| ·电解液压力对凹坑形状的影响 | 第48-50页 |
| ·加工间隙对凹坑形状的影响 | 第50-51页 |
| ·毛细管阵列电极电液束加工凹坑阵列结构 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 电解转印法加工微小凹坑阵列结构试验研究 | 第53-75页 |
| ·电解转印法基本原理 | 第53-54页 |
| ·电解转印法加工微小凹坑阵列结构的电场分析 | 第54-58页 |
| ·阴极平板不同胶膜厚度有限元电场分析 | 第54-57页 |
| ·阴极平板小孔间距对凹坑阵列影响的有限元电场分析 | 第57-58页 |
| ·电解转印法阴极平板的制作 | 第58-63页 |
| ·基片前处理 | 第59页 |
| ·光刻 | 第59-63页 |
| ·电解转印法加工系统的建立 | 第63-68页 |
| ·供电系统及控制系统的建立 | 第63-65页 |
| ·夹具的设计和制作 | 第65-66页 |
| ·电解液循环系统的建立 | 第66-67页 |
| ·检测系统 | 第67-68页 |
| ·电解转印法加工微小凹坑阵列试验及分析 | 第68-74页 |
| ·脉冲电源频率对加工结果的影响 | 第68-70页 |
| ·脉冲占空比对加工结果的影响 | 第70-71页 |
| ·阴极胶膜厚度对加工结果的影响 | 第71-72页 |
| ·阴极平板小孔间距对凹坑阵列的影响 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·本文的主要结论 | 第75页 |
| ·对本课题研究的展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第81页 |
