| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·磁性颗粒膜的性质及其发展历史 | 第8-9页 |
| ·磁写入材料的发展史及其特性要求 | 第9-11页 |
| ·块状Fe-Co合金的性质 | 第11-13页 |
| ·高密度磁记录磁头用磁性薄膜 | 第13-15页 |
| ·写入磁头的工作原理 | 第13-14页 |
| ·磁头用磁性薄膜研究进展 | 第14-15页 |
| ·本文的研究工作 | 第15-16页 |
| 2 样品制备及其性能表征 | 第16-26页 |
| ·颗粒膜的制备 | 第16-21页 |
| ·样品的制备 | 第16页 |
| ·磁控溅射的原理 | 第16-19页 |
| ·基片的选择与清洗 | 第19-20页 |
| ·溅射镀膜程序及溅射工艺条件 | 第20页 |
| ·样品的热处理 | 第20-21页 |
| ·薄膜样品的性能表征 | 第21-26页 |
| ·样品磁特性测量 | 第21-22页 |
| ·X射线衍射(X-ray Diffraction)晶体结构分析 | 第22-23页 |
| ·扫描探针显微镜(SPM)形貌及磁畴观察 | 第23-25页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第25-26页 |
| 3 Fe_(50)Co_(50) 薄膜的制备、微结构和磁特性研究 | 第26-38页 |
| ·基底温度对Fe_(50)Co_(50)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第26-32页 |
| ·样品制备 | 第26页 |
| ·结果与讨论 | 第26-32页 |
| ·本节小结 | 第32页 |
| ·薄膜厚度对 Fe_(50)Co_(50) 薄膜微结构和磁特性的影响 | 第32-38页 |
| ·样品制备 | 第32-33页 |
| ·结果与讨论 | 第33-37页 |
| ·本节小结 | 第37-38页 |
| 4 Fe_(70)Co_(30) 薄膜的制备、微结构和磁特性研究 | 第38-51页 |
| ·薄膜厚度对Fe_(70)Co_(30)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第38-43页 |
| ·样品制备 | 第38页 |
| ·结果与讨论 | 第38-43页 |
| ·本节小结 | 第43页 |
| ·磁性层厚度对后退火的Fe_(70)Co_(30)薄膜微结构和磁特性的影响 | 第43-48页 |
| ·样品制备 | 第43页 |
| ·结果与讨论 | 第43-48页 |
| ·本节小结 | 第48页 |
| ·磁性层厚度对沉积态和后退火的Fe_(70)Co_(30)薄膜微结构和磁特性的影响比较 | 第48-51页 |
| 5 结论 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果清单 | 第56页 |
