| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 第一章 概述 | 第13-27页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·薄膜材料 | 第13页 |
| ·透明导电薄膜 | 第13-14页 |
| ·AZO薄膜的基本性质 | 第14-17页 |
| ·AZO薄膜的结构特点 | 第14-15页 |
| ·AZO的电学性质 | 第15-16页 |
| ·AZO薄膜的透光性 | 第16页 |
| ·AZO薄膜的气敏特性 | 第16页 |
| ·AZO薄膜的压敏特性 | 第16-17页 |
| ·AZO薄膜的压电特性 | 第17页 |
| ·AZO薄膜的应用 | 第17-18页 |
| ·在太阳能电池方面的应用 | 第17页 |
| ·在热镜方面的应用 | 第17-18页 |
| ·在液晶显示器上的应用 | 第18页 |
| ·AZO薄膜的制备技术 | 第18-22页 |
| ·溶胶-凝胶(Sik-Gel)法 | 第18-21页 |
| ·概述 | 第18-19页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的特点 | 第19-20页 |
| ·溶胶-凝胶法制膜工艺 | 第20-21页 |
| ·磁控溅射(Sputtering)法 | 第21页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第21页 |
| ·金属有机物化学气相沉积(MOCVD) | 第21-22页 |
| ·分子束外延(Molecular Beam Epitaxy) | 第22页 |
| ·喷雾热分解(Spray Pyrolysis) | 第22页 |
| ·AZO薄膜的研究现状 | 第22-24页 |
| ·AZO薄膜在国外的研究现状 | 第23-24页 |
| ·AZO薄膜在国内的研究现状 | 第24页 |
| ·课题研究的意义和内容 | 第24-25页 |
| ·课题研究的主要内容和技术路线 | 第25-27页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第25-26页 |
| ·课题研究的技术路线 | 第26-27页 |
| 第二章 试样的制备及表征方法 | 第27-34页 |
| ·溶胶-凝胶法的基本原理 | 第27-28页 |
| ·AZO薄膜样品的制备 | 第28-31页 |
| ·实验原料 | 第28页 |
| ·溶液的制备 | 第28页 |
| ·基片的清洗 | 第28-29页 |
| ·AZO薄膜的制备 | 第29-31页 |
| ·薄膜的表征 | 第31-33页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第31页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第31-32页 |
| ·X射线光电子能谱仪(XPS) | 第32页 |
| ·薄膜透光性能的分析 | 第32-33页 |
| ·薄膜电学性能的分析 | 第33页 |
| ·实验的主要设备仪器 | 第33-34页 |
| 第三章 掺杂浓度对AZO薄膜性能的影响 | 第34-45页 |
| ·掺杂浓度对薄膜结晶性能的影响 | 第34-38页 |
| ·XRD分析 | 第34-37页 |
| ·SEM分析 | 第37-38页 |
| ·掺杂浓度对薄膜透光性能的影响 | 第38-40页 |
| ·掺杂浓度对薄膜电阻率的影响 | 第40-42页 |
| ·AZO薄膜的XPS分析 | 第42-45页 |
| 第四章 退火处理对薄膜性能的影响 | 第45-62页 |
| ·退火温度对薄膜性能的影响 | 第45-57页 |
| ·对薄膜结晶性能的影响 | 第45-54页 |
| ·对薄膜透光性能的影响 | 第54-56页 |
| ·对薄膜导电性能的影响 | 第56-57页 |
| ·退火气氛对薄膜性能的影响 | 第57-62页 |
| ·对薄膜结晶性能的影响 | 第57-60页 |
| ·XRD分析 | 第57-59页 |
| ·SEM分析 | 第59-60页 |
| ·对薄膜透光性能的影响 | 第60页 |
| ·对薄膜导电性能的影响 | 第60-62页 |
| 第五章 全文结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-69页 |
| 研究生期间所撰写论文 | 第69页 |