| 摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-21页 |
| ·ZnO的基本特性 | 第8-11页 |
| ·ZnO薄膜的国内外研究进展 | 第11-13页 |
| ·ZnO掺杂材料的研究概况 | 第13-16页 |
| ·本论文的选题依据和设计方案 | 第16-18页 |
| 参考文献 | 第18-21页 |
| 第二章 薄膜的制备方法和表征手段 | 第21-33页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第21-24页 |
| ·溶胶—凝胶法(Sol—Gel) | 第21-24页 |
| ·高温退火热处理 | 第24页 |
| ·薄膜表征手段介绍 | 第24-30页 |
| ·X射线衍射技术(XRD) | 第24-26页 |
| ·紫外-可见吸收光谱分析法 | 第26页 |
| ·拉曼光谱分析法 | 第26-27页 |
| ·光致发光光谱 | 第27-28页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第28-29页 |
| ·四探针电阻测试 | 第29-30页 |
| ·本论文所用试剂及仪器介绍 | 第30-32页 |
| 参考文献 | 第32-33页 |
| 第三章 ZnO薄膜的制备与特性 | 第33-51页 |
| ·ZnO溶胶与薄膜的制备 | 第33-35页 |
| ·溶胶的制备 | 第33页 |
| ·基片的清洗 | 第33-34页 |
| ·镀膜和热处理 | 第34-35页 |
| ·ZnO溶胶结构性能表征与结果分析 | 第35-40页 |
| ·溶胶紫外可见光吸收图谱分析 | 第35-39页 |
| ·ZnO溶胶透射电镜(TEM)分析 | 第39-40页 |
| ·ZnO薄膜结构性能表征与结果分析 | 第40-49页 |
| ·薄膜X射线衍射(XRD)谱 | 第40-43页 |
| ·薄膜表面形貌分析 | 第43-45页 |
| ·薄膜的紫外吸收谱 | 第45-47页 |
| ·薄膜的可见光透过谱 | 第47-48页 |
| ·薄膜的电学性质 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |
| 第四章 Al掺杂ZnO薄膜(ZAO)的光电特性 | 第51-65页 |
| ·ZAO溶胶与薄膜的制备 | 第51页 |
| ·ZAO溶胶紫外可见光吸收图谱分析 | 第51-54页 |
| ·ZAO薄膜结构性能表征与结果分析 | 第54-63页 |
| ·ZAO薄膜的X射线衍射(XRD)谱 | 第54-56页 |
| ·ZAO薄膜表面形貌分析 | 第56-57页 |
| ·ZAO薄膜的紫外吸收和可见光透射谱 | 第57-59页 |
| ·ZAO薄膜的光致发光光谱 | 第59-60页 |
| ·ZAO薄膜的拉曼光谱 | 第60-61页 |
| ·ZAO薄膜的电学性质 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-65页 |
| 第五章 Ag、Ce、Ti掺杂ZnO薄膜的结构与性能分析 | 第65-76页 |
| ·ZnO:Ag薄膜的制备 | 第65-67页 |
| ·薄膜的X射线衍射图谱 | 第65-66页 |
| ·薄膜的紫外吸收谱 | 第66-67页 |
| ·薄膜的可见光透过谱 | 第67页 |
| ·ZnO:Ce薄膜的制备 | 第67-70页 |
| ·薄膜的X射线衍射图谱 | 第67-69页 |
| ·薄膜的紫外吸收谱 | 第69页 |
| ·薄膜的可见光透过谱 | 第69-70页 |
| ·ZnO:Ti薄膜的制备 | 第70-72页 |
| ·薄膜的X射线衍射图谱 | 第70-71页 |
| ·薄膜的紫外吸收谱 | 第71页 |
| ·薄膜的可见光透过谱 | 第71-72页 |
| ·掺杂ZnO薄膜光学特性比较分析 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-76页 |
| 第六章 结论与展望 | 第76-78页 |
| ·结论 | 第76页 |
| ·展望 | 第76-78页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |