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ZnO薄膜的取向、缺陷、结构及光学性质的研究

第一章 前言第1-42页
   ·引言第9-13页
   ·ZnO材料的紫外受激发射研究第13-20页
   ·ZnO材料的基本性质第20-23页
   ·ZnO薄膜的特性第23-25页
   ·ZnO薄膜的应用第25-28页
   ·ZnO薄膜的生长方法第28-32页
   ·本论文的主要研究内容第32-34页
 本章参考文献第34-42页
第二章 ZnO薄膜的制备方法及表征方法的简单介绍第42-59页
   ·ZnO薄膜的MOCVD反应体系的制备方法简介第42-48页
   ·ZnO薄膜MOCVD的源材料第43-44页
   ·ZnO薄膜的MOCVD反应体系第44-48页
   ·ZnO薄膜的化学气相传输制备方法简介第48-49页
   ·化学气相传输反应的装置第48页
   ·ZnO薄膜的化学气相传输的催化剂的变化第48-49页
   ·表征手段的简单介绍第49-57页
   ·X射线衍射谱第49-51页
   ·电子显微镜第51-52页
   ·扫描探针显微镜(SPM)第52页
   ·X射线光电子能谱(XPS)第52-54页
   ·透射和吸收光谱第54-55页
   ·微区光致发光谱第55-57页
 本章参考文献第57-59页
第三章 MOCVD体系中蓝宝石衬底的薄膜结构及光学性质第59-106页
   ·ZnO薄膜在蓝宝石Al_2O_3(0006)衬底上生长第59-60页
   ·样品的制备第59-60页
   ·不同衬底温度的ZnO膜的结构和光学性质第60-80页
   ·X射线结果分析温度对结构的影响第61-74页
   ·温度对表面形貌的影响第74-77页
   ·温度对光学性质的影响第77-80页
   ·不同厚度的ZnO膜的结构和光学性质第80-91页
   ·不同厚度的ZnO膜的样品的制备第81页
   ·不同厚度的ZnO膜的样品的结果分析第81-91页
     ·XRD分析结果第81-84页
     ·SEM分析结果第84-87页
     ·X射线光电子能谱对不同厚度的ZnO膜的分析第87-89页
     ·不同厚度的ZnO膜的光致发光光谱第89-91页
   ·ZnO膜的二维层和三维层的结构和性质第91-99页
   ·样品的制备第92页
   ·XRD结果分析第92-95页
   ·原子力显微镜对形貌的表征第95-97页
   ·二维层和三维层的光致发光第97-99页
   ·透射光谱第99页
   ·本章小结第99-101页
 本章参考文献第101-106页
第四章 化学气相传输反应制备的ZnO薄膜结构和光学性质第106-123页
   ·单晶Si(100)上Au催化的ZnO膜的结构性质第106-114页
   ·样品的制备第106-107页
   ·Au膜的厚度对ZnO结构形貌的影响第107-111页
   ·XRD分析结果第107-108页
   ·SEM结果第108-110页
   ·光致发光谱第110-111页
   ·衬底温度对ZnO薄膜的结构形貌的影响第111-114页
   ·样品的制备第111页
   ·实验结果分析第111-114页
   ·XRD结果第111页
   ·SEM结果第111-113页
   ·光致发光谱第113-114页
   ·其他条件下的ZnO薄膜的结构性质第114-119页
   ·样品的制备第114页
   ·样品的表征第114-119页
   ·SEM结果第114-116页
   ·XRD结果分析第116-117页
   ·AFM结果第117-119页
   ·光致发光(PL)谱第119页
   ·本章小结第119-121页
 本章参考文献第121-123页
结论第123-125页
致谢第125-127页
作者简介第127页
博士学位期间发表的论文第127-129页
摘要第129-131页
ABSTRACT第131-133页

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