| 第一章 绪论 | 第1-35页 |
| ·微结构、微器件和微系统 | 第18-19页 |
| ·金属Micro/Meso 结构加工技术 | 第19-24页 |
| ·UV-LIGA 及其与微细电火花加工技术组合 | 第24-31页 |
| ·本文研究意义与主要内容 | 第31-33页 |
| ·本文研究主要创新点 | 第33-35页 |
| 第二章 SU-8 胶光刻工艺研究 | 第35-55页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·SU-8 胶及其光刻工艺基础 | 第35-43页 |
| ·金属基片SU-8 胶光刻工艺试验研究 | 第43-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第三章 微细电铸液相传质过程数值分析 | 第55-80页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·电化学沉积和液相传质理论基础 | 第55-59页 |
| ·扩散传质过程数值分析 | 第59-66页 |
| ·对流－扩散传质过程数值分析 | 第66-74页 |
| ·温度梯度条件下复合对流－扩散传质 | 第74-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第四章 微细电铸试验研究 | 第80-101页 |
| ·引言 | 第80页 |
| ·微细电铸工艺基础 | 第80-83页 |
| ·实验方案拟定 | 第83-84页 |
| ·微细电铸工艺路线 | 第84-85页 |
| ·阴极放置方式对电铸件形貌质量的影响 | 第85-88页 |
| ·交替降压/高速冲液搅拌－热梯度微细电铸试验研究 | 第88-92页 |
| ·超声电铸微器件试验研究 | 第92-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 第五章 微细电火花加工工具电极耐电蚀性研究 | 第101-120页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·电极损耗的影响因素及降低电极损耗的措施 | 第101-104页 |
| ·电铸电极材料电蚀性试验 | 第104-106页 |
| ·结果与分析 | 第106-116页 |
| ·电铸铜电极材料抗电蚀性综合分析 | 第116-119页 |
| ·本章小结 | 第119-120页 |
| 第六章 UV-LIGA 和Micro EDM 组合加工初步试验研究 | 第120-130页 |
| ·引言 | 第120页 |
| ·UV-LIGA 和Micro EDM 组合加工工艺基础 | 第120-122页 |
| ·组合加工试验研究 | 第122-129页 |
| ·本章小结 | 第129-130页 |
| 第七章 结论与展望 | 第130-133页 |
| ·结论 | 第130-132页 |
| ·展望 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-144页 |
| 致谢 | 第144-145页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第145页 |