| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-12页 |
| 1 前 言 | 第12-24页 |
| ·传感器及其分支-气体传感器 | 第12-14页 |
| ·传感器的重要性 | 第12页 |
| ·气体传感器及其主要应用领域 | 第12-13页 |
| ·气体传感器的分类及金属氧化物半导体传感器的优点 | 第13-14页 |
| ·实际应用对气体传感器的要求 | 第14-17页 |
| ·传统气体传感器的研究 | 第14-15页 |
| ·传统传感材料待做的工作以及新型传感材料的寻找 | 第15-16页 |
| ·半导体气体传感器主要参数特性要求 | 第16-17页 |
| ·ZnSnO3气敏材料的研究设想 | 第17-19页 |
| ·纳米级ZnSnO3粉末制备技术研究 | 第17页 |
| ·传感元件烧结条件及性能的研究 | 第17页 |
| ·传感器的气敏性能及电压特性的研究 | 第17页 |
| ·提高灵敏度、选择性以及稳定性的掺杂剂选择研究 | 第17-18页 |
| ·TiO2掺杂方法及气敏性能研究 | 第18页 |
| ·表面形貌研究 | 第18页 |
| ·吸附理论、空间电荷层理论以及费米能级钉扎理论研究 | 第18-19页 |
| ·本章结论 | 第19-20页 |
| 参考文献 | 第20-24页 |
| 2 ZnSnO3吸附特性机理模型研究 | 第24-48页 |
| ·表面态陷阱模型 | 第25-38页 |
| ·表面态能级及空间电荷区形成的能带图 | 第25-29页 |
| ·势垒理论 | 第29-30页 |
| ·内表面态陷阱模型 | 第30-32页 |
| ·外表面态陷阱模型 | 第32-34页 |
| ·内外表面态陷阱模型的数学相似性 | 第34-35页 |
| ·数值模拟计算 | 第35-37页 |
| ·实验验证 | 第37-38页 |
| ·吸附过程模型 | 第38-43页 |
| ·化学吸附过程 | 第38-39页 |
| ·基本理论 | 第39-40页 |
| ·实验验证 | 第40-43页 |
| ·本章总结 | 第43-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 3 高纯纳米ZnSnO3气敏材料的制备条件及气敏性能 | 第48-60页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·实验 | 第48-49页 |
| ·粉末制备 | 第48页 |
| ·传感元件制备 | 第48-49页 |
| ·表征 | 第49页 |
| ·实验结果与分析 | 第49-56页 |
| ·制备方法对灵敏度的影响 | 第50页 |
| ·反应过程分析 | 第50-51页 |
| ·粉末纯度分析 | 第51-52页 |
| ·DSC-TG 分析 | 第52-53页 |
| ·TEM分析 | 第53-54页 |
| ·前驱粉末热处理时间对灵敏度的影响 | 第54页 |
| ·烧结温度和时间对灵敏度的影响 | 第54-55页 |
| ·电压特性和恢复-响应时间 | 第55-56页 |
| ·长期稳定性 | 第56页 |
| ·本章结论 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 4 掺杂ZnSnO3气敏特性及实用性研究 | 第60-70页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·实验 | 第60-61页 |
| ·气敏元件的制备 | 第60页 |
| ·实验表征 | 第60-61页 |
| ·结果与讨论 | 第61-66页 |
| ·不同的添加剂对乙醇灵敏度的影响 | 第61页 |
| ·掺入TiO2的ZnSnO3乙醇气敏特性 | 第61-63页 |
| ·TiO2的掺杂量对灵敏度的影响 | 第63页 |
| ·工作周期对灵敏度的影响 | 第63-64页 |
| ·ZnSnO3传感器的工作温度 | 第64-65页 |
| ·含有添加剂的各种传感器的电压特性 | 第65页 |
| ·掺TiO2传感器的选择性 | 第65-66页 |
| ·本章结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 5 三种不同掺TiO2过程ZnSnO3传感器的微结构与气敏性能研究 | 第70-84页 |
| ·引言 | 第70页 |
| ·实验 | 第70-72页 |
| ·纳米ZnSnO3粉末的制备 | 第70页 |
| ·TiO2粉末的制备 | 第70页 |
| ·不同的掺入过程 | 第70-71页 |
| ·传感器制作 | 第71页 |
| ·表征 | 第71-72页 |
| ·实验结果与讨论 | 第72-80页 |
| ·成分分析 | 第72-74页 |
| ·DSC-TG 分析 | 第74页 |
| ·粉末的形貌分析 | 第74-75页 |
| ·掺杂ZnSnO3粉末的比表面积 | 第75-76页 |
| ·传感器气敏特性 | 第76-80页 |
| ·本章结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 6 Fermi能钉扎理论及ZnSnO3气敏材料表面态测定 | 第84-92页 |
| ·引言 | 第84页 |
| ·Fermi能级钉扎理论 | 第84-85页 |
| ·实验验证 | 第85-88页 |
| ·实验 | 第86页 |
| ·实验结果及分析 | 第86-88页 |
| ·本章总结 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-92页 |
| 7 结论及建议 | 第92-94页 |
| ·研究过程概述 | 第92页 |
| ·主要结论 | 第92-93页 |
| ·研究过程中的创新之处 | 第93页 |
| ·后续研究建议 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94-96页 |
| 附 录:攻读硕士学位期间发表的或待发表的论文目录 | 第96-97页 |
