| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 1. 绪论 | 第12-32页 |
| ·研究背景 | 第12-18页 |
| ·全球能源危机与可再生能源 | 第12-13页 |
| ·太阳能电池发展现状及趋势 | 第13-15页 |
| ·国内外晶体硅太阳能产业发展现状 | 第15-18页 |
| ·国内外太阳能级硅制备工艺发展现状 | 第18-28页 |
| ·国外太阳能级硅制备工艺发展现状 | 第18-25页 |
| ·国内太阳能级硅制备工艺发展现状 | 第25-28页 |
| ·冶金法与化学法工艺对比分析 | 第28-31页 |
| ·生产成本对比分析 | 第28-29页 |
| ·生产工艺路径对比分析 | 第29-31页 |
| ·本论文的研究目的及研究内容 | 第31-32页 |
| 2 试验方案与设备 | 第32-48页 |
| ·试验工艺方案 | 第32-41页 |
| ·硅中杂质与缺陷 | 第32-37页 |
| ·冶金制备原理与工艺方案 | 第37-41页 |
| ·试验材料与设备 | 第41-48页 |
| ·试验材料 | 第41-44页 |
| ·试验设备 | 第44-48页 |
| 3 酸洗提纯 | 第48-59页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·酸洗工艺的原理 | 第48-49页 |
| ·酸洗试验方案与过程 | 第49-51页 |
| ·酸洗试验方案 | 第49-50页 |
| ·酸洗试验过程 | 第50-51页 |
| ·酸洗试验结果与讨论 | 第51-58页 |
| ·工艺参数对杂质含量的影响 | 第51-55页 |
| ·最优化参数酸洗后硅的纯度 | 第55-56页 |
| ·酸洗机理与酸洗极限 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 4 电磁感应造渣精炼 | 第59-82页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·电磁感应与造渣精炼原理 | 第59-64页 |
| ·电磁感应原理 | 第59-61页 |
| ·造渣精炼原理 | 第61-64页 |
| ·造渣剂选择与试验方案 | 第64-68页 |
| ·造渣剂的选择 | 第64-67页 |
| ·试验方案 | 第67-68页 |
| ·试验结果与分析 | 第68-77页 |
| ·电磁搅拌对除硼效果的影响 | 第68-71页 |
| ·第三组元对除硼效果的影响 | 第71页 |
| ·工艺参数对除硼效果的影响 | 第71-75页 |
| ·造渣剂中杂质硼的存在形态 | 第75-77页 |
| ·电磁感应造渣除硼热力学与动力学分析 | 第77-81页 |
| ·除硼热力学分析 | 第77-78页 |
| ·除硼动力学分析 | 第78-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 5 电子束熔炼 | 第82-103页 |
| ·引言 | 第82页 |
| ·电子束熔炼炉的结构与原理 | 第82-84页 |
| ·电子束熔炼炉的结构 | 第82-83页 |
| ·电子束熔炼炉的原理与特点 | 第83-84页 |
| ·水冷铜坩埚精炼 | 第84-97页 |
| ·试验过程与方案 | 第84-86页 |
| ·电子束水冷铜坩埚精炼工艺参数 | 第86-90页 |
| ·水冷铜坩埚精炼结果分析与讨论 | 第90-97页 |
| ·电子束连续精炼 | 第97-99页 |
| ·电子束除杂热力学与动力学分析 | 第99-101页 |
| ·电子束除杂热力学分析 | 第99-100页 |
| ·电子束除杂动力学分析 | 第100-101页 |
| ·本章小节 | 第101-103页 |
| 6 定向凝固 | 第103-126页 |
| ·引言 | 第103页 |
| ·定向凝固的原理 | 第103-104页 |
| ·试验设备与方案 | 第104-107页 |
| ·试验设备与材料 | 第104-105页 |
| ·试验过程与方案 | 第105-107页 |
| ·试验结果分析与讨论 | 第107-119页 |
| ·铸锭表面质量分析 | 第107-109页 |
| ·硅锭晶粒与金相组织分析 | 第109-111页 |
| ·硅锭中杂质元素的分布 | 第111-116页 |
| ·定向凝固工艺参数评估 | 第116-119页 |
| ·定向凝固机制与硅晶体生长机制 | 第119-124页 |
| ·定向凝固提纯机制 | 第119-120页 |
| ·硅晶体生长机制 | 第120-124页 |
| ·本章小节 | 第124-126页 |
| 结论 | 第126-129页 |
| 展望 | 第129-130页 |
| 创新点摘要 | 第130-131页 |
| 参考文献 | 第131-139页 |
| 附录A 硅中主要杂质与硅的二元相图 | 第139-140页 |
| 附录B 氧化物二元与氧化物三元相图 | 第140-141页 |
| 附录C 硅中主要杂质元素在固体硅与液体硅中的扩散系数 | 第141-142页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第142-145页 |
| 致谢 | 第145-146页 |
| 作者简介 | 第146-147页 |