| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 图表索引 | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·微电机种类及发展现状 | 第11-15页 |
| ·静电微电机工作原理及发展现状 | 第11-12页 |
| ·电磁型微电机工作原理及发展现状 | 第12-14页 |
| ·压电微电机工作原理及发展现状 | 第14-15页 |
| ·微电机制作工艺 | 第15-18页 |
| ·IC技术 | 第15页 |
| ·硅表面微机械加工技术 | 第15-16页 |
| ·LIGA和准LIGA工艺 | 第16-18页 |
| ·超精密机械加工和装配技术 | 第18页 |
| ·微电机的应用前景 | 第18-20页 |
| ·医疗领域 | 第18页 |
| ·航空航天领域 | 第18-19页 |
| ·微机器人领域 | 第19-20页 |
| ·今后微电机的发展趋势 | 第20-21页 |
| ·微型化 | 第20页 |
| ·实用化 | 第20-21页 |
| ·控制电路的微型化和集成化 | 第21页 |
| ·本课题研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 电磁型平面微电机工作原理及机械特性分析 | 第23-50页 |
| ·引言 | 第23-24页 |
| ·电磁型平面微电机结构及工作原理 | 第24-27页 |
| ·电磁型平面微电机转速计算 | 第27-31页 |
| ·电磁型平面微电机定子绕组分布设计 | 第27-29页 |
| ·电磁型平面微电机转速计算 | 第29-31页 |
| ·电磁型平面微电机输出力矩计算 | 第31-48页 |
| ·电磁型平面微电机转子最大气隙磁感应强度B_δ的计算 | 第32-36页 |
| ·电磁型平面微电机气隙磁场分布测试 | 第36-40页 |
| ·电磁型平面微电机旋转过程中感应电势计算 | 第40-44页 |
| ·电磁型平面微电机旋转过程中极限转速计算 | 第44-45页 |
| ·电磁型平面微电机输出力矩计算 | 第45-48页 |
| ·小结 | 第48-50页 |
| 第三章 电磁型平面微电机制作工艺的研究 | 第50-73页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·电磁型平面微电机输出轴的制作 | 第50-51页 |
| ·电磁型平面微电机固定装置的制作 | 第51-52页 |
| ·电磁型平面微电机定子绕组制作 | 第52-72页 |
| ·电磁型平面微电机定子绕组线圈的PCB工艺制作 | 第52-53页 |
| ·电磁型平面微电机定子绕组线圈的微机械工艺制作 | 第53-60页 |
| ·定子绕组线圈制作中几个关键工艺过程的研究 | 第60-72页 |
| ·小结 | 第72-73页 |
| 第四章 电磁型平面微电机机械特性测试 | 第73-92页 |
| ·引言 | 第73页 |
| ·电磁型平面微电机驱动电路的制作 | 第73-76页 |
| ·方波发生电路设计原理 | 第73-75页 |
| ·分频电路设计 | 第75-76页 |
| ·电磁型平面微电机机械特性测试 | 第76-91页 |
| ·电磁型平面微电机转速精度测试 | 第76-78页 |
| ·非接触式力矩测试仪工作原理及仪器精度分析 | 第78-88页 |
| ·电磁型平面微电机的转速-输出力矩关系测试 | 第88-89页 |
| ·输出力矩-转速关系的最小二乘法合成 | 第89-91页 |
| ·小结 | 第91-92页 |
| 第五章 结束语 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-102页 |
| 攻读博士期间论文及专利发表情况 | 第102-103页 |
| 作者简历 | 第103-104页 |
| 致谢 | 第104页 |