| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 主要参数符号 | 第11-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| ·课题研究的背景 | 第12页 |
| ·等离子体的相关理论 | 第12-15页 |
| ·等离子体的分类 | 第13页 |
| ·等离子体的基本性质 | 第13-14页 |
| ·等离子体的主要应用 | 第14-15页 |
| ·溅射法镀膜 | 第15-17页 |
| ·溅射法镀膜的简单介绍 | 第15页 |
| ·射频磁控溅射方法基本原理 | 第15-17页 |
| ·本课题主要研究内容及工作 | 第17-20页 |
| 第2章 等离子体诊断学的概念及理论 | 第20-27页 |
| ·等离子体诊断的发展历程 | 第20-21页 |
| ·等离子体的诊断方法 | 第21-25页 |
| ·接触类方法 | 第21-23页 |
| ·非接触类方法 | 第23-25页 |
| ·等离子体的生成方法 | 第25-27页 |
| 第3章 朗缪尔单探针诊断 | 第27-38页 |
| ·朗缪尔单探针诊断法的基本理论 | 第27-33页 |
| ·Langmuir探针适用的条件 | 第27页 |
| ·朗缪尔单探针诊断法的诊断原理 | 第27-30页 |
| ·Langmuir探针的Ⅰ-Ⅴ特性曲线的性质 | 第30-33页 |
| ·朗缪尔单探针诊断法的参数确定理论 | 第33-34页 |
| ·OML理论 | 第33-34页 |
| ·ABR理论 | 第34页 |
| ·BRL理论 | 第34页 |
| ·朗缪尔单探针诊断法的参数确定步骤 | 第34-38页 |
| ·确定探针的表面 | 第34页 |
| ·从研华PCL-818HG数据采集卡采集电压电流信号 | 第34页 |
| ·绘出Ⅰ-Ⅴ特性曲线,并对Ⅰ-Ⅴ特性曲线作平滑处理 | 第34页 |
| ·初步确定空间电位 | 第34-35页 |
| ·初步估计电子温度 | 第35页 |
| ·初步估计等离子密度 | 第35页 |
| ·确定悬浮电位 | 第35页 |
| ·初步估计德拜长度 | 第35页 |
| ·由OML理论初步估计过渡区的离子浓度 | 第35-36页 |
| ·求出过渡区的电子电流并显示 | 第36页 |
| ·重新计算得到电子温度和悬浮电位 | 第36-37页 |
| ·重复上面的步骤求上面的参数 | 第37页 |
| ·求电子能量分布函数(EEDF) | 第37页 |
| ·求电子密度 | 第37页 |
| ·求电子能量概率分布函数(EEPF) | 第37-38页 |
| 第4章 发射探针诊断 | 第38-43页 |
| ·探针的分类与比较 | 第38-40页 |
| ·发射探针的原理 | 第40-43页 |
| 第5章 朗缪尔探针诊断电路的设计 | 第43-58页 |
| ·信号发生器 | 第43-52页 |
| ·信号发生器的种类介绍 | 第43页 |
| ·信号发生器的选择与比较 | 第43-48页 |
| ·MAX038的功能和电路原理 | 第48-52页 |
| ·集成运算放大器 | 第52-56页 |
| ·集成运算放大器的分类 | 第53-54页 |
| ·高压大功率运算放大器PA88 | 第54-56页 |
| ·数据采集卡PCL-818HG | 第56-58页 |
| ·数据采集卡PCL-818HG的简单介绍 | 第56-57页 |
| ·数据采集卡PCL-818HG的主要参数 | 第57-58页 |
| 第6章 等离子体诊断实验 | 第58-67页 |
| ·朗缪尔单探针法实验 | 第58-62页 |
| ·单探针诊断法的探针设计 | 第58页 |
| ·朗缪尔单探针诊断法的实验步骤及过程 | 第58-59页 |
| ·朗缪尔单探针诊断法的实验条件及结果 | 第59-62页 |
| ·零发射法实验 | 第62-67页 |
| ·发射探针的设计 | 第62-63页 |
| ·零发射法的实验步骤及过程 | 第63-64页 |
| ·零发射法的实验条件及结果 | 第64-67页 |
| 第7章 结论与展望 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |