| 摘要 | 第1-10页 |
| Abstract | 第10-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| ·研究背景、目的和意义 | 第12-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-21页 |
| ·控制理论的发展和研究现状 | 第14-15页 |
| ·丝杠导程误差测量技术研究现状 | 第15-19页 |
| ·误差补偿技术的研究现状 | 第19-21页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第2章 X-Y工作台软、硬件系统设计 | 第22-32页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·X-Y工作台硬件系统设计与装调 | 第22-26页 |
| ·X-Y工作台软件系统设计 | 第26-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 新型动态激光测量仪的原理与应用 | 第32-42页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·X-Y工作台定位误差常用的动态测量工具简介 | 第32-37页 |
| ·磁栅 | 第32-33页 |
| ·光栅 | 第33-35页 |
| ·新型激光测量仪 | 第35-37页 |
| ·激光测量仪动态测量及其结果分析 | 第37-41页 |
| ·实验系统简介 | 第37-38页 |
| ·激光测量仪动态测量前实验系统的调试工作 | 第38-40页 |
| ·激光测量仪动态测量结果及分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 工作台单轴系统的动力学系统建模及其仿真研究 | 第42-52页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·X-Y工作台的数学模型 | 第42-46页 |
| ·常用 PID控制算法的改进方法 | 第46-47页 |
| ·积分分离 PID控制算法 | 第47-51页 |
| ·积分分离 PID控制算法基本原理 | 第47-48页 |
| ·积分分离 PID控制算法的仿真实验 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 X-Y工作台定位误差动态测量方法研究与分析 | 第52-59页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·X-Y工作台螺距误差的动态测量及误差分析 | 第52-58页 |
| ·螺距误差动态测量原理 | 第52-53页 |
| ·积分分离 PID控制算法在 X-Y实验台上的应用 | 第53-54页 |
| ·螺距误差动态测量结果与误差分析 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第6章 X-Y工作台定位误差补偿方法研究与分析 | 第59-66页 |
| ·引言 | 第59-60页 |
| ·误差前馈补偿控制原理及算法分析 | 第60-62页 |
| ·定位误差补偿控制算法的实现与结果分析 | 第62-64页 |
| ·前馈补偿控制算法的实现 | 第62-63页 |
| ·误差前馈补偿结果与分析 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和奖励情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第73页 |
