| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 第一章 研究内容及意义 | 第13-18页 |
| ·PH_3的净化意义 | 第13-16页 |
| ·研究内容及技术路线 | 第16-17页 |
| ·研究的创新点 | 第17-18页 |
| 第二章 文献综述 | 第18-32页 |
| ·磷化氢的性质 | 第18-19页 |
| ·磷化氢的净化方法 | 第19-32页 |
| ·燃烧法 | 第19-21页 |
| ·吸附法 | 第21-26页 |
| ·化学氧化吸收法 | 第26-32页 |
| 第三章 实验材料与方法 | 第32-39页 |
| ·实验装置 | 第32-33页 |
| ·单因素实验流程及装置 | 第32页 |
| ·动力学实验实验流程及装置 | 第32-33页 |
| ·实验试剂与设备 | 第33-35页 |
| ·实验气体与试剂 | 第33-34页 |
| ·实验设备 | 第34-35页 |
| ·分析方法 | 第35页 |
| ·PH_3气体的检测 | 第35页 |
| ·化学法测定Cu~(2+) | 第35页 |
| ·实验所涉及的计算 | 第35-37页 |
| ·净化效率的计算 | 第35-36页 |
| ·PH_3吸收速率的测定 | 第36页 |
| ·PH_3界面浓度的计算 | 第36-37页 |
| ·双搅拌釜中气液相传质系数的测定 | 第37-39页 |
| ·液相分传质系数的测定 | 第37-38页 |
| ·气相分传质系数的测定 | 第38-39页 |
| 第四章 PH_3催化净化催化剂的优选 | 第39-57页 |
| ·Pd(Ⅱ)-Mn(Ⅱ)对PH_3的净化规律研究 | 第39-43页 |
| ·混合气中O_2浓度对净化效率的影响 | 第39-40页 |
| ·不同温度下净化效率曲线 | 第40页 |
| ·不同PH_3浓度下净化效率曲线 | 第40-41页 |
| ·不同气体流量下净化效率曲线 | 第41-42页 |
| ·吸收液pH对净化效率曲线的影响 | 第42-43页 |
| ·Pd(Ⅱ)-Fe(Ⅲ)对PH_3的净化规律研究 | 第43-46页 |
| ·吸收液中Fe(Ⅲ)量对净化效率的影响 | 第43-44页 |
| ·吸收液pH对净化效率的影响 | 第44-45页 |
| ·反应温度对净化效率的影响 | 第45页 |
| ·氧含量对净化效率的影响 | 第45-46页 |
| ·Pd(Ⅱ)-Cu(Ⅱ)对PH_3的净化规律研究 | 第46-55页 |
| ·吸收液中Cu(Ⅱ)的量对PH_3净化效果的影响 | 第46-47页 |
| ·pH对PH_3净化效率的影响 | 第47-48页 |
| ·氧含量对PH_3净化效率的影响 | 第48-49页 |
| ·温度对PH_3净化效率的影响 | 第49-50页 |
| ·PH_3入口质量浓度对净化效率的影响 | 第50-51页 |
| ·混合气速对PH_3净化效率的影响 | 第51-52页 |
| ·催化剂用量对净化效率的影响 | 第52-53页 |
| ·不同载气对净化效率的影响 | 第53-54页 |
| ·催化剂再生性研究 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 催化氧化PH_3的传质—反应动力学研究 | 第57-65页 |
| ·PH_3催化氧化反应动力学区域的确定 | 第57-60页 |
| ·动力学区域的确定方法 | 第57-58页 |
| ·PH_3催化氧化动力学区域的确定 | 第58-60页 |
| ·反应动力学实验研究 | 第60-62页 |
| ·氧含量对吸收速率的影响 | 第60页 |
| ·催化剂配比对化学反应速率的影响 | 第60-61页 |
| ·拟一级反应速率常数的确定 | 第61-62页 |
| ·宏观动力学特征数研究 | 第62-64页 |
| ·八田准数的研究 | 第62页 |
| ·化学增强因子的研究 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 Pd(Ⅱ)-Cu(Ⅱ)液相催化氧化PH_3机理讨论 | 第65-72页 |
| ·反应产物的确定 | 第65-66页 |
| ·反应机理的推理 | 第66-67页 |
| ·反应机理的验证 | 第67-70页 |
| ·催化剂再生 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 第七章 结论与建议 | 第72-74页 |
| ·结论 | 第72页 |
| ·建议 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 附录:攻读硕士期间发表的学术论文 | 第79页 |