电磁力驱动微型膜片泵的研究与实验分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| ·微泵的研究意义 | 第13-14页 |
| ·微型泵的发展现状 | 第14-27页 |
| ·有阀泵 | 第15-21页 |
| ·压电驱动的微型泵 | 第15-18页 |
| ·磁力驱动蠕动式微型泵 | 第18-19页 |
| ·静电力驱动微型泵 | 第19-21页 |
| ·无阀泵 | 第21-27页 |
| ·电渗流式无阀微泵 | 第21-23页 |
| ·收缩扩散流道的无阀泵 | 第23-25页 |
| ·电液力致动式微泵 | 第25-26页 |
| ·表面张力微型泵 | 第26-27页 |
| ·选题依据和论文内容 | 第27-29页 |
| 第2章 磁力与膜片变形理论模型 | 第29-41页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·微型泵的理论设计结构 | 第29-30页 |
| ·磁场强度的分析与计算 | 第30-34页 |
| ·电磁力的计算 | 第34-35页 |
| ·膜片应力变形 | 第35-36页 |
| ·电磁力驱动膜片变形模型的建立 | 第36-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第3章 微型泵输出的理论分析 | 第41-47页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·膜片运动特性 | 第41-42页 |
| ·理论流量计算 | 第42-44页 |
| ·流体瞬时运动模型 | 第44-46页 |
| ·小结 | 第46-47页 |
| 第4章 理论数据分析与仿真 | 第47-55页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·基本条件与仿真内容 | 第47页 |
| ·磁场与电磁力的仿真 | 第47-49页 |
| ·电磁力与膜片变形仿真 | 第49-52页 |
| ·结构优化与分析 | 第52-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第5章 膜片泵的设计与制作工艺 | 第55-68页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·制作工艺流程 | 第55-56页 |
| ·详细工艺步骤 | 第56-66页 |
| ·PDMS的制备 | 第56-58页 |
| ·混合PDMS | 第56-57页 |
| ·除气泡 | 第57-58页 |
| ·膜片的制作 | 第58-60页 |
| ·离心法制膜片 | 第58-60页 |
| ·PDMS的固化 | 第60页 |
| ·阀的制作 | 第60-63页 |
| ·PMMA阀体的加工 | 第61页 |
| ·阀膜片的加工 | 第61-62页 |
| ·膜片和阀体键合 | 第62-63页 |
| ·膜片泵驱动膜的制作 | 第63-65页 |
| ·膜片泵的集成 | 第65-66页 |
| ·螺线管的制作 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 第6章 微泵实验与分析 | 第68-83页 |
| ·引言 | 第68页 |
| ·实验系统构建 | 第68-71页 |
| ·膜片泵的实验测试 | 第71-82页 |
| ·检测系统的尺寸标定 | 第71-73页 |
| ·电流与输出关系检测 | 第73-78页 |
| ·脉冲频率与输出关系检测 | 第78-80页 |
| ·膜片泵的输出负压检测 | 第80-82页 |
| ·小结 | 第82-83页 |
| 第7章 总结与展望 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 发表的论文 | 第89页 |
