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射频/偏压耦合筒状聚合物内表面DLC膜沉积及阻隔性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-10页
第1章 绪论第10-17页
   ·高阻隔PET 瓶研究现状第10-12页
     ·选题意义第10页
     ·单层结构的PET 阻隔瓶第10页
     ·多层结构的PET 阻隔瓶第10-11页
     ·涂层技术第11-12页
   ·PET 瓶内表面DLC 阻隔薄膜研究现状第12-16页
     ·等离子体增强化学气相沉积(PECVD)第12-14页
     ·正脉冲偏压离子注入技术(PPBII)第14页
     ·等离子体源离子注入技术(PSII)第14-15页
     ·三种制备技术比较第15-16页
   ·主要研究内容第16-17页
第2章 试验材料与方法第17-23页
   ·试验材料及设备第17-18页
     ·试验材料第17页
     ·实验设备第17-18页
   ·DLC 膜的制备第18-19页
     ·工艺流程第18页
     ·工艺参数第18-19页
   ·DLC 膜的表征方法第19-23页
     ·激光拉曼光谱第19页
     ·傅立叶变换红外光谱第19-20页
     ·三维表面轮廓仪第20页
     ·扫描电子显微镜第20页
     ·紫外可见光分光光度计第20页
     ·拉伸性能测试第20-21页
     ·机械弯折性能测试第21页
     ·气体透过率测试仪第21-23页
第3章 筒状聚合物内表面DLC 薄膜的表征第23-35页
   ·激光拉曼光谱第23-26页
     ·射频功率的影响第23-25页
     ·直流偏压的影响第25-26页
     ·沉积气压的影响第26页
   ·傅立叶红外光谱第26-30页
     ·不同射频功率下DLC 膜红外光谱对比第28-29页
     ·不同直流偏压下DLC 膜红外光谱对比第29页
     ·不同沉积气压下DLC 膜红外光谱对比第29-30页
   ·三维表面轮廓仪第30-34页
     ·射频功率的影响第30-31页
     ·直流偏压的影响第31-33页
     ·沉积气压的影响第33-34页
   ·本章小结第34-35页
第4章 筒状聚合物内表面DLC 薄膜均匀性研究第35-43页
   ·真空反应腔体内等离子体密度分布第35-38页
     ·射频功率的影响第36-37页
     ·直流偏压的影响第37页
     ·沉积气压的影响第37-38页
   ·筒状聚合物内表面DLC 薄膜透光率轴向分布第38-42页
     ·射频功率的影响第38-40页
     ·直流偏压的影响第40-41页
     ·沉积气压的影响第41-42页
   ·本章小结第42-43页
第5章 筒状聚合物内表面DLC 薄膜结合力研究第43-55页
   ·拉伸性能试验第43-47页
   ·机械弯折实验第47-50页
     ·射频功率的影响第47-48页
     ·直流偏压的影响第48-49页
     ·工作气压的影响第49-50页
   ·膜层稳定性试验第50-53页
     ·射频功率的影响第50-51页
     ·直流偏压的影响第51-52页
     ·沉积气压的影响第52-53页
   ·本章小结第53-55页
第6章 筒状聚合物内表面DLC 薄膜的阻隔性能研究第55-61页
   ·不同参数对筒状聚合物内表面DLC 薄膜阻隔性能的影响第55-58页
     ·射频功率对DLC 膜阻隔性能的影响第55-56页
     ·直流偏压对DLC 膜阻隔性能的影响第56-57页
     ·沉积气压对DLC 膜阻隔性能的影响第57-58页
   ·瓶体内表面DLC 薄膜制备第58-60页
   ·本章小结第60-61页
结论第61-62页
参考文献第62-67页
致谢第67页

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