基于砷化镓的介观压阻效应微机械陀螺研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| ·研究背景和意义 | 第12-13页 |
| ·微机械陀螺国内外研究现状 | 第13-26页 |
| ·陀螺概述 | 第13-14页 |
| ·国外研究现状 | 第14-20页 |
| ·国内研究现状 | 第20-23页 |
| ·GaAs微器件的应用 | 第23-26页 |
| ·本文研究特色 | 第26页 |
| ·论文主要研究工作安排 | 第26-28页 |
| 第二章 介观压阻效应微机械陀螺理论与技术基础 | 第28-57页 |
| ·陀螺原理及动力学模型 | 第28-36页 |
| ·陀螺工作原理 | 第28-30页 |
| ·陀螺的动态模型 | 第30-36页 |
| ·陀螺电磁驱动分析 | 第36-43页 |
| ·运动方程 | 第37-41页 |
| ·动生电动势分析 | 第41-42页 |
| ·感生电动势分析 | 第42-43页 |
| ·介观压阻效应检测分析 | 第43-56页 |
| ·介观压阻效应理论 | 第44-46页 |
| ·超晶格纳米薄膜工作机理 | 第46-48页 |
| ·介观压阻效应的检测方法 | 第48-53页 |
| ·介观压阻系数测量方法 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第三章 介观压阻效应微机械陀螺的设计 | 第57-96页 |
| ·陀螺结构设计 | 第57-83页 |
| ·结构方案的选择 | 第57-59页 |
| ·陀螺结构的确定及尺寸初始化 | 第59-62页 |
| ·驱动和检测模态分析 | 第62-65页 |
| ·结构优化 | 第65-67页 |
| ·陀螺结构特性分析与仿真 | 第67-70页 |
| ·陀螺阻尼分析 | 第70-76页 |
| ·陀螺噪声分析 | 第76-78页 |
| ·陀螺灵敏度及量程计算 | 第78-79页 |
| ·陀螺电磁驱动特性仿真 | 第79-83页 |
| ·陀螺工艺设计 | 第83-94页 |
| ·版图设计 | 第83-90页 |
| ·工艺流程 | 第90-94页 |
| ·本章小结 | 第94-96页 |
| 第四章 介观压阻效应微机械陀螺制作工艺 | 第96-121页 |
| ·RTS薄膜及微结构 | 第96-99页 |
| ·器件隔离 | 第99-102页 |
| ·发射极台面隔离 | 第99-100页 |
| ·有源区注入隔离 | 第100-102页 |
| ·欧姆接触的制作 | 第102-107页 |
| ·欧姆接触 | 第103页 |
| ·欧姆接触金属和合金 | 第103-105页 |
| ·欧姆接触的测量 | 第105-107页 |
| ·钝化工艺 | 第107-108页 |
| ·空气桥工艺 | 第108-111页 |
| ·RTS通孔工艺 | 第111-114页 |
| ·微结构光刻 | 第111-112页 |
| ·微结构刻蚀 | 第112-114页 |
| ·背面工艺 | 第114-115页 |
| ·粘片 | 第114-115页 |
| ·减薄 | 第115页 |
| ·后道工艺及装架 | 第115-116页 |
| ·工艺制造误差对陀螺性能的影响 | 第116-119页 |
| ·残余应力的影响 | 第116-117页 |
| ·刻蚀错位的影响 | 第117-118页 |
| ·封装的影响 | 第118-119页 |
| ·小结 | 第119-121页 |
| 第五章 介观压阻效应微机械陀螺检测电路与测试 | 第121-140页 |
| ·驱动电路设计 | 第121-122页 |
| ·驱动电路 | 第121页 |
| ·反馈检测电路 | 第121-122页 |
| ·检测电路设计 | 第122-123页 |
| ·陀螺性能测试 | 第123-139页 |
| ·RTS性能测试 | 第123-125页 |
| ·RTS电桥电路调试 | 第125页 |
| ·电磁驱动特性测试 | 第125-130页 |
| ·检测特性测试 | 第130-135页 |
| ·陀螺设计指标的修正 | 第135页 |
| ·陀螺角速度测试 | 第135-137页 |
| ·对测试结果的评估分析 | 第137-139页 |
| ·本章小结 | 第139-140页 |
| 第六章 结论 | 第140-142页 |
| 参考文献 | 第142-149页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第149-151页 |
| 致谢 | 第151页 |
