| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-14页 |
| 1.1.1 纳米加工技术 | 第12-13页 |
| 1.1.2 纳米操作技术 | 第13-14页 |
| 1.2 AFM电场加工方法介绍 | 第14-19页 |
| 1.2.1 AFM简介 | 第14-18页 |
| 1.2.2 基于AFM电场加工方法 | 第18-19页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第19-20页 |
| 1.4 本文主要研究内容及结构安排 | 第20-23页 |
| 第二章 微观电场加工理论和仿真分析 | 第23-39页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 蒸发场强计算 | 第23-30页 |
| 2.3 针尖电场在空间中的三维分布情况 | 第30-32页 |
| 2.4 针尖电场仿真 | 第32-37页 |
| 2.4.1 有限元软件Comsol Multiphysics介绍 | 第32-34页 |
| 2.4.2 针尖电场仿真 | 第34-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 AFM导电探针镀层加工参数分析 | 第39-49页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 AFM探针介绍 | 第39-40页 |
| 3.3 AFM导电探针的应用 | 第40-42页 |
| 3.4 AFM导电探针镀层加工方法 | 第42-48页 |
| 3.4.1 离子溅射加工 | 第42-45页 |
| 3.4.2 镀层参数分析 | 第45-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 针尖-样品距离—针尖-样品回路电流控制方法 | 第49-63页 |
| 4.1 前言 | 第49页 |
| 4.2 目前面临问题的描述 | 第49-53页 |
| 4.3 电场强度综合控制方法原理 | 第53-62页 |
| 4.3.1 针尖-基底距离控制方法 | 第54-58页 |
| 4.3.2 电流源代替电压源施加方法 | 第58-62页 |
| 4.3.3 针尖-样品距离综合控制方法 | 第62页 |
| 4.4 本章小节 | 第62-63页 |
| 第五章 自动化纳米沉积加工实验研究 | 第63-71页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 自动化电场加工系统搭建 | 第63-65页 |
| 5.2.1 系统硬件构成 | 第63-64页 |
| 5.2.2 系统软件构成 | 第64-65页 |
| 5.3 AFM自动化纳米电场加工实验 | 第65-69页 |
| 5.3.1 探针扫描算法 | 第66-68页 |
| 5.3.2 基于AFM的自动化沉积加工流程 | 第68-69页 |
| 5.4 实验结果 | 第69-70页 |
| 5.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 结论 | 第71-73页 |
| 6.1 总结 | 第71-72页 |
| 6.2 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 作者简介 | 第77页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79页 |