| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第19-33页 |
| 1.1 选题背景和意义 | 第19-20页 |
| 1.2 类金刚石碳基薄膜应用现状 | 第20-23页 |
| 1.2.1 DLC薄膜本征特性 | 第20页 |
| 1.2.2 DLC薄膜在刀具领域应用 | 第20-23页 |
| 1.3 类金刚石碳基薄膜研究现状 | 第23-29页 |
| 1.3.1 DLC薄膜存在的主要问题 | 第23页 |
| 1.3.2 DLC薄膜性能优化研究 | 第23-27页 |
| 1.3.2.1 元素掺杂DLC复合薄膜 | 第23-26页 |
| 1.3.2.2 梯度多层交替构筑DLC复合薄膜 | 第26-27页 |
| 1.3.3 DLC涂层刀具加工研究现状 | 第27-29页 |
| 1.4 论文主要研究内容 | 第29-33页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第29-30页 |
| 1.4.2 论文主要研究内容 | 第30-33页 |
| 2 类金刚石碳基复合薄膜生长机理与制备工艺 | 第33-55页 |
| 2.1 气体放电与粒子运动 | 第33-36页 |
| 2.1.1 激发与电离 | 第33-35页 |
| 2.1.2 带电粒子在电磁场中运动 | 第35-36页 |
| 2.2 阳极层线性离子源技术制备α-C:H薄膜 | 第36-39页 |
| 2.2.1 阳极层线性离子源工作原理 | 第36-38页 |
| 2.2.2 α-C:H薄膜生长机理 | 第38-39页 |
| 2.3 中频反应磁控溅射制备Ti-DLC薄膜 | 第39-41页 |
| 2.3.1 中频反应磁控溅射工作原理 | 第39-40页 |
| 2.3.2 Ti-DLC薄膜生长机理 | 第40-41页 |
| 2.4 镀膜设备与镀膜工艺 | 第41-46页 |
| 2.4.1 镀膜材料与镀膜设备 | 第41-43页 |
| 2.4.2 实验材料预处理 | 第43页 |
| 2.4.3 薄膜制备工艺 | 第43-46页 |
| 2.5 薄膜性能表征与评价 | 第46-54页 |
| 2.5.1 表面三维形貌 | 第46-47页 |
| 2.5.2 微观组织结构 | 第47-52页 |
| 2.5.3 膜基结合强度与薄膜韧性 | 第52-53页 |
| 2.5.4 摩擦磨损性能 | 第53-54页 |
| 2.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 3 阳极层线性离子源技术制备含氢DLC薄膜工艺与性能优化 | 第55-76页 |
| 3.1 离子源电压对α-C:H薄膜性能的影响 | 第55-61页 |
| 3.1.1 离子源电压对α-C:H薄膜表面形貌的影响 | 第55-57页 |
| 3.1.2 离子源电压对α-C:H薄膜微观结构的影响 | 第57-58页 |
| 3.1.3 离子源电压对α-C:H薄膜膜基结合强度和韧性的影响 | 第58-59页 |
| 3.1.4 离子源电压对α-C:H薄膜耐磨性能的影响 | 第59-61页 |
| 3.2 脉冲负偏压对α-C:H薄膜性能的影响 | 第61-67页 |
| 3.2.1 脉冲负偏压对α-C:H薄膜表面形貌的影响 | 第62-63页 |
| 3.2.2 脉冲负偏压对α-C:H薄膜微观结构的影响 | 第63-64页 |
| 3.2.3 脉冲负偏压对α-C:H薄膜膜基结合强度和韧性的影响 | 第64-65页 |
| 3.2.4 脉冲负偏压对α-C:H薄膜耐磨性能的影响 | 第65-67页 |
| 3.3 基体温度对α-C:H薄膜性能的影响 | 第67-74页 |
| 3.3.1 基体温度对α-C:H薄膜表面形貌的影响 | 第68-69页 |
| 3.3.2 基体温度对α-C:H薄膜微观结构的影响 | 第69-70页 |
| 3.3.3 基体温度对α-C:H薄膜膜基结合强度和韧性的影响 | 第70-71页 |
| 3.3.4 基体温度对α-C:H薄膜耐磨性能的影响 | 第71-74页 |
| 3.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 4 中频反应磁控溅射技术制备Ti掺杂DLC薄膜工艺与性能优化 | 第76-100页 |
| 4.1 中频电流对Ti-DLC薄膜性能的影响 | 第76-84页 |
| 4.1.1 中频电流对Ti-DLC薄膜表面形貌的影响 | 第77-78页 |
| 4.1.2 中频电流对Ti-DLC薄膜微观结构影响 | 第78-80页 |
| 4.1.3 中频电流对Ti-DLC薄膜膜基结合强度和韧性的影响 | 第80-81页 |
| 4.1.4 中频电流对Ti-DLC薄膜耐磨性能的影响 | 第81-84页 |
| 4.2 Ar进气流量对Ti-DLC薄膜性能的影响 | 第84-91页 |
| 4.2.1 Ar进气流量对Ti-DLC薄膜表面形貌的影响 | 第84-85页 |
| 4.2.2 Ar进气流量对Ti-DLC薄膜微观结构的影响 | 第85-88页 |
| 4.2.3 Ar进气流量对Ti-DLC薄膜膜基结合强度和韧性的影响 | 第88页 |
| 4.2.4 Ar进气流量对Ti-DLC薄膜耐磨性能的影响 | 第88-91页 |
| 4.3 脉冲负偏压对Ti-DLC薄膜性能的影响 | 第91-97页 |
| 4.3.1 脉冲负偏压对Ti-DLC薄膜表面形貌的影响 | 第91-92页 |
| 4.3.2 脉冲负偏压对Ti-DLC薄膜微观结构的影响 | 第92-94页 |
| 4.3.3 脉冲负偏压对Ti-DLC薄膜膜基结合强度和韧性的影响 | 第94-95页 |
| 4.3.4 脉冲负偏压对Ti-DLC薄膜耐磨性能的影响 | 第95-97页 |
| 4.4 本章小结 | 第97-100页 |
| 5 DLC多层交替复合薄膜制备工艺与性能优化 | 第100-117页 |
| 5.1 单层薄膜生长速率研究 | 第100-102页 |
| 5.2 调制周期对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜性能的影响 | 第102-109页 |
| 5.2.1 调制周期对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜表面形貌的影响 | 第103-104页 |
| 5.2.2 调制周期对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜微观结构的影响 | 第104-106页 |
| 5.2.3 调制周期对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜膜基结合强度和韧性的影响 | 第106-107页 |
| 5.2.4 调制周期对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜耐磨性能的影响 | 第107-109页 |
| 5.3 调制比对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜性能的影响 | 第109-115页 |
| 5.3.1 调制比对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜表面形貌的影响 | 第109-110页 |
| 5.3.2 调制比对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜微观结构的影响 | 第110-112页 |
| 5.3.3 调制比对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜膜基结合强度和韧性的影响 | 第112-113页 |
| 5.3.4 调制比对(Ti-DLC/α-C:H)n薄膜耐磨性能的影响 | 第113-115页 |
| 5.4 本章小结 | 第115-117页 |
| 6 类金刚石碳基复合薄膜应用研究 | 第117-142页 |
| 6.1 类金刚石碳基复合薄膜涂层刀具干式切削GFRP性能研究 | 第117-128页 |
| 6.1.1 GFRP性能特点 | 第117-118页 |
| 6.1.2 实验条件和试验方案 | 第118-120页 |
| 6.1.3 切削力分析 | 第120-122页 |
| 6.1.4 刀具磨损与失效机理 | 第122-128页 |
| 6.1.4.1 不同切削深度 | 第122-125页 |
| 6.1.4.2 不同切削速度 | 第125-127页 |
| 6.1.4.3 不同进给量 | 第127-128页 |
| 6.2 基于类金刚石碳基复合薄膜补偿的微米和中间尺度复合制造技术研究 | 第128-140页 |
| 6.2.1 微米和中间尺度制造技术 | 第129页 |
| 6.2.2 基于薄膜补偿的微米和中间尺度复合制造技术原理 | 第129-131页 |
| 6.2.3 基于薄膜补偿的微米和中间尺度复合制造技术公差理论研究 | 第131-135页 |
| 6.2.3.1 微米和中间尺度设计公差 | 第131-133页 |
| 6.2.3.2 精密测量公差 | 第133页 |
| 6.2.3.3 镀膜膜厚尺寸公差 | 第133-135页 |
| 6.2.4 微米和中间尺度台阶与槽复合制造 | 第135-140页 |
| 6.2.4.1 设计要求 | 第135页 |
| 6.2.4.2 试验材料与方法 | 第135-136页 |
| 6.2.4.3 (Ti-DLC/α-C:H)n薄膜精密补偿 | 第136-137页 |
| 6.2.4.4 表面质量 | 第137-140页 |
| 6.2.4.5 最终尺寸 | 第140页 |
| 6.3 本章小结 | 第140-142页 |
| 7 全文总结 | 第142-146页 |
| 7.1 主要工作及结论 | 第142-144页 |
| 7.2 论文创新点 | 第144页 |
| 7.3 展望 | 第144-146页 |
| 致谢 | 第146-147页 |
| 参考文献 | 第147-158页 |
| 攻读博士期间发表的论文与参加的科研项目 | 第158-159页 |
