疏水SiO2宽频增透膜的制备及其性能研究
摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第11-26页 |
1.1 光学薄膜的概况 | 第11页 |
1.2 减反射薄膜 | 第11-15页 |
1.2.1 减反射膜的概述 | 第11-12页 |
1.2.2 减反射膜的发展 | 第12-13页 |
1.2.3 减反射膜的应用 | 第13-15页 |
1.3 减反射原理 | 第15-18页 |
1.4 减反射薄膜制备方法 | 第18-19页 |
1.4.1 物理法 | 第18页 |
1.4.2 化学法 | 第18-19页 |
1.5 溶胶―凝胶工艺 | 第19-24页 |
1.5.1 溶胶―凝胶法的历史发展 | 第19-21页 |
1.5.2 溶胶―凝胶反应机理 | 第21页 |
1.5.3 溶胶―凝胶工艺的影响因素 | 第21-23页 |
1.5.4 溶胶―凝胶工艺的优缺点 | 第23页 |
1.5.5 溶胶―凝胶镀膜工艺 | 第23-24页 |
1.6 论文研究意义及内容 | 第24-26页 |
第2章 实验原材料、仪器及方法 | 第26-35页 |
2.1 实验材料与实验仪器 | 第26-27页 |
2.1.1 实验用药品 | 第26页 |
2.1.2 实验用基底材料 | 第26-27页 |
2.1.3 实验仪器 | 第27页 |
2.2 测试仪器及分析方法 | 第27-31页 |
2.2.1 溶胶粘度测试 | 第27-28页 |
2.2.2 溶胶TEM测试 | 第28页 |
2.2.3 膜层透过率测试 | 第28页 |
2.2.4 膜层折射率测试 | 第28页 |
2.2.5 膜层微观形貌测试 | 第28-29页 |
2.2.6 膜层接触角测试 | 第29页 |
2.2.7 薄膜机械力测试 | 第29-30页 |
2.2.8 薄膜红外测试 | 第30页 |
2.2.9 比表面积及孔径测试 | 第30-31页 |
2.3 溶胶的制备 | 第31-33页 |
2.3.1 疏水溶胶的制备 | 第31页 |
2.3.2 碱/酸混合溶胶的制备 | 第31-33页 |
2.4 薄膜的制备 | 第33-35页 |
2.4.1 疏水薄膜的制备 | 第33页 |
2.4.2 碱(酸)催化薄膜的制备 | 第33页 |
2.4.3 碱/酸混合溶胶薄膜的制备 | 第33页 |
2.4.4 双层薄膜的制备 | 第33-35页 |
第3章 疏水SiO_2薄膜的制备与表征 | 第35-49页 |
3.1 实验参数 | 第35页 |
3.2 工艺参数对溶胶性能的影响 | 第35-40页 |
3.2.1 溶胶粘度随R值变化规律 | 第35-37页 |
3.2.2 溶胶TEM分析 | 第37-38页 |
3.2.3 比表面及孔径分析 | 第38-40页 |
3.3 工艺参数对薄膜性能的影响 | 第40-47页 |
3.3.1 提拉速度对薄膜均匀性影响 | 第40-42页 |
3.3.2 薄膜接触角随R值的变化 | 第42-44页 |
3.3.3 薄膜的疏水持效性 | 第44-45页 |
3.3.4 薄膜折射率随R值的变化 | 第45-46页 |
3.3.5 改性薄膜透过率 | 第46-47页 |
3.4 本章小结 | 第47-49页 |
第4章 疏水宽频增透膜的制备与表征 | 第49-62页 |
4.1 碱/酸催化混合溶胶制备参数 | 第49页 |
4.2 碱(酸)催化制备SiO_2薄膜 | 第49-54页 |
4.2.1 碱(酸)催化SiO_2溶胶粘度变化 | 第49-50页 |
4.2.2 透过率及形貌分析 | 第50-52页 |
4.2.3 耐摩擦性分析 | 第52-54页 |
4.3 碱/酸催化混合制备SiO_2薄膜 | 第54-58页 |
4.3.1 碱/酸催化混合SiO_2溶胶粘度变化 | 第54-55页 |
4.3.2 薄膜折射率及机械性能 | 第55-57页 |
4.3.3 薄膜透过率及形貌分析 | 第57-58页 |
4.4 疏水双层宽频增透膜的制备与表征 | 第58-60页 |
4.5 本章小结 | 第60-62页 |
第5章 结论与展望 | 第62-65页 |
5.1 结论 | 第62-63页 |
5.2 展望 | 第63-65页 |
参考文献 | 第65-69页 |
致谢 | 第69-70页 |
攻读硕士期间发表的论文 | 第70页 |