| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 薄膜太阳能电池 | 第11页 |
| 1.2 无机薄膜太阳能电池 | 第11-18页 |
| 1.2.1 无机薄膜太阳能电池基本工作原理和性能参数 | 第12-14页 |
| 1.2.2 无机薄膜太阳能电池分类描述 | 第14-18页 |
| 1.3 透明导电氧化物薄膜研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3.1 ITO薄膜研究现状 | 第19页 |
| 1.3.2 AZO薄膜研究现状 | 第19页 |
| 1.3.3 ATO薄膜研究现状 | 第19-20页 |
| 1.4 氧化锡锑(ATO)透明导电薄膜 | 第20-22页 |
| 1.4.1 ATO薄膜的制备技术 | 第20-21页 |
| 1.4.2 ATO薄膜的光、电学性能 | 第21-22页 |
| 1.5 本论文工作的提出与主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 实验与测试 | 第24-30页 |
| 2.1 实验原料 | 第24-25页 |
| 2.2 实验设备 | 第25-26页 |
| 2.3 实验设计与工艺流程 | 第26-28页 |
| 2.3.1 Mo/MoSe_2/CZTS/CdS/ZnO/ATO器件的制备 | 第26-27页 |
| 2.3.2 ATO/ZnO/Sb_2Se_3/Au器件的制备 | 第27-28页 |
| 2.4 测试原理与方法 | 第28-30页 |
| 2.4.1 薄膜物相分析 | 第28页 |
| 2.4.2 薄膜断面及表面形貌分析 | 第28-29页 |
| 2.4.3 薄膜成分分析 | 第29页 |
| 2.4.4 薄膜光学性能测试 | 第29页 |
| 2.4.5 薄膜电学性能测试 | 第29页 |
| 2.4.6 器件I-V性能测试 | 第29-30页 |
| 第3章 ATO透明导电薄膜的低温沉积制备及其在铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池中的应用 | 第30-47页 |
| 3.1 低温沉积ATO薄膜的物相结构 | 第30-32页 |
| 3.2 低温沉积ATO薄膜的微观结构 | 第32-35页 |
| 3.3 低温沉积ATO薄膜的电学性能 | 第35-39页 |
| 3.4 低温沉积ATO薄膜的光学性能 | 第39-42页 |
| 3.5 低温沉积ATO薄膜的电、光学性能综合优化 | 第42-43页 |
| 3.6 ATO薄膜电极在CZTS薄膜太阳能电池中的应用探索 | 第43-45页 |
| 3.6.1 ATO/CZTS薄膜电池的光电转换性能 | 第43-44页 |
| 3.6.2 ATO/CZTS薄膜电池的环境稳定性 | 第44-45页 |
| 3.7 小结 | 第45-47页 |
| 第4章 ATO透明导电薄膜的高温沉积制备及其在硒化锑(Sb_2Se_3)太阳能电池中的应用 | 第47-63页 |
| 4.1 高温沉积ATO薄膜的物相结构 | 第47-50页 |
| 4.2 高温沉积ATO薄膜的微观结构 | 第50-52页 |
| 4.3 高温沉积ATO薄膜的电学性能 | 第52-56页 |
| 4.4 高温沉积ATO薄膜的光学性能 | 第56-57页 |
| 4.5 高温沉积ATO薄膜的电、光学性能综合优化 | 第57-58页 |
| 4.6 ATO薄膜电极在Sb_2Se_3薄膜太阳能电池中的应用探索 | 第58-61页 |
| 4.6.1 ATO/Sb_2Se_3薄膜电池的光电转换性能 | 第59-60页 |
| 4.6.2 ATO/Sb_2Se_3薄膜电池的环境稳定性 | 第60-61页 |
| 4.7 本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 攻读硕士学位期间的科研成果目录 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
