| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 材料动态力学实验 | 第8-10页 |
| 1.3 动态压入法 | 第10-12页 |
| 1.4 纳米压入法 | 第12-15页 |
| 1.4.1 纳米压入基本原理 | 第12-13页 |
| 1.4.2 O-P法 | 第13-14页 |
| 1.4.3 动态纳米压入分析 | 第14-15页 |
| 1.5 纳米冲击 | 第15-16页 |
| 1.6 硬质薄膜的动态力学性能研究现状 | 第16-17页 |
| 1.7 研究意义及内容 | 第17-19页 |
| 第二章 单晶铝纳米冲击物理过程分析及动态硬度 | 第19-30页 |
| 2.1 研究背景 | 第19页 |
| 2.2 纳米压入和纳米冲击 | 第19-20页 |
| 2.3 纳米冲击接触过程的物理模型 | 第20-21页 |
| 2.4 动态硬度 | 第21-22页 |
| 2.5 结果和讨论 | 第22-28页 |
| 2.5.1 冲击形貌 | 第22-23页 |
| 2.5.2 冲击深度 | 第23-24页 |
| 2.5.3 能量分析 | 第24-25页 |
| 2.5.4 动态硬度HD和尺寸效应 | 第25-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-30页 |
| 第三章 CrN系列薄膜的纳米冲击物理过程分析及动态韧性 | 第30-41页 |
| 3.1 研究背景 | 第30页 |
| 3.2 实验材料以及表征方法 | 第30-31页 |
| 3.3 纳米压入以及纳米冲击 | 第31页 |
| 3.4 实验结果 | 第31-37页 |
| 3.4.1 微观结构 | 第31-32页 |
| 3.4.2 纳米压入 | 第32-34页 |
| 3.4.3 纳米冲击 | 第34-37页 |
| 3.5 分析与讨论 | 第37-39页 |
| 3.5.1 裂纹分析 | 第37-38页 |
| 3.5.2 能量分析 | 第38-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 TiN系列薄膜多冲及动态压入疲劳 | 第41-52页 |
| 4.1 研究背景 | 第41页 |
| 4.2 材料的制备以及表征方法 | 第41页 |
| 4.3 纳米压入和纳米冲击 | 第41-42页 |
| 4.4 实验结果 | 第42-47页 |
| 4.4.1 薄膜的形貌及微观结构表征 | 第42-44页 |
| 4.4.2 纳米机械性能 | 第44页 |
| 4.4.3 纳米冲击性能 | 第44-47页 |
| 4.5 实验分析及讨论 | 第47-50页 |
| 4.6 本章小结 | 第50-52页 |
| 五结论与展望 | 第52-54页 |
| 5.1 结论 | 第52-53页 |
| 5.2 展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-61页 |
| 作者简介 | 第61页 |