| 摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 研究背景和研究意义 | 第8-9页 |
| 1.2 等离子体的概念 | 第9-11页 |
| 1.2.1 等离子体的定义 | 第9-10页 |
| 1.2.2 等离子体的分类 | 第10页 |
| 1.2.3 等离子体的一般描述方法 | 第10-11页 |
| 1.3 气体放电的概念与分类 | 第11-12页 |
| 1.4 辉光放电的原理分析 | 第12-16页 |
| 1.4.1 辉光放电的产生与典型条件 | 第12-14页 |
| 1.4.2 辉光放电过程中粒子的运动 | 第14-16页 |
| 1.5 本文的研究内容及目的 | 第16-18页 |
| 2 等离子体放电的数值研究方法与流体模型的建立 | 第18-28页 |
| 2.1 基本物理模型 | 第18-21页 |
| 2.1.1 模拟对象及模型基本假设 | 第18-19页 |
| 2.1.2 模型方程 | 第19-21页 |
| 2.2 流体模型的计算方法 | 第21-27页 |
| 2.2.1 分量方程 | 第21页 |
| 2.2.2 初始条件和边界条件 | 第21页 |
| 2.2.3 无量纲化 | 第21-22页 |
| 2.2.4 差分格式 | 第22-25页 |
| 2.2.5 计算步骤 | 第25-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 低气压射频放电中气体压强对放电空间分布的影响 | 第28-34页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 数值结果与讨论分析 | 第28-33页 |
| 3.2.1 离子密度和电子密度的空间分布 | 第29页 |
| 3.2.2 电场和电势的空间分布 | 第29-30页 |
| 3.2.3 电子温度和电离率的空间分布 | 第30-31页 |
| 3.2.4 电子压强加热、电子欧姆加热、电子加热以及电子能量损失的空间分布 | 第31-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 低气压射频放电中气体压强对放电演化特性的影响 | 第34-51页 |
| 4.1 引言 | 第34-35页 |
| 4.2 数值结果与讨论 | 第35-50页 |
| 4.2.1 对离子密度演化特性的影响 | 第35-36页 |
| 4.2.2 快速增长阶段中放电演化特性的影响 | 第36-44页 |
| 4.2.3 稳态阶段中放电演化特性的影响 | 第44-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |