| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 缩略词 | 第11-12页 |
| 符号注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 微纳表面形貌光学测量技术 | 第14-19页 |
| 1.2.1 共聚焦显微法 | 第14-15页 |
| 1.2.2 干涉显微法 | 第15-17页 |
| 1.2.3 数字全息显微法 | 第17页 |
| 1.2.4 对焦显微法 | 第17-19页 |
| 1.3 基于对焦显微法的微纳表面形貌光学测量技术发展概况 | 第19-20页 |
| 1.3.1 国外发展概况 | 第19-20页 |
| 1.3.2 国内发展概况 | 第20页 |
| 1.4 本文选题依据 | 第20-21页 |
| 1.5 本文研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 基于对焦显微法的表面形貌测量原理 | 第22-32页 |
| 2.1 引言 | 第22-23页 |
| 2.2 数据采集 | 第23页 |
| 2.3 图像像素点聚焦评估 | 第23-26页 |
| 2.3.1 常用聚焦评估算子 | 第24-25页 |
| 2.3.2 聚焦评估算子比较分析 | 第25-26页 |
| 2.4 纵向深度计算 | 第26-28页 |
| 2.5 生成点云 | 第28-31页 |
| 2.5.1 三维点横向坐标计算 | 第28-29页 |
| 2.5.2 放大率标定方法 | 第29-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 离焦成像仿真技术 | 第32-41页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 光学成像仿真原理 | 第32-34页 |
| 3.3 仿真程序设计 | 第34-35页 |
| 3.4 仿真参数确定 | 第35-38页 |
| 3.5 仿真效果验证 | 第38-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 表面形貌测量算法优化 | 第41-58页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 基于自适应区间的聚焦曲线拟合算法 | 第41-44页 |
| 4.3 基于中值滤波的点云去噪方法 | 第44-47页 |
| 4.4 基于空间连续性的点云优化方法 | 第47-57页 |
| 4.4.1 问题分析 | 第47-53页 |
| 4.4.2 点云优化方法 | 第53-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 系统平台搭建与实验 | 第58-68页 |
| 5.1 引言 | 第58页 |
| 5.2 硬件系统 | 第58-60页 |
| 5.3 软件系统 | 第60-61页 |
| 5.4 测量流程 | 第61-62页 |
| 5.5 测量实验 | 第62-67页 |
| 5.5.1 精度验证实验 | 第62-65页 |
| 5.5.2 面向金属3D打印件表面检测的应用实例 | 第65-67页 |
| 5.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 总结 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第75页 |