| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第14-25页 |
| 1.1 铁电阻变存储器 | 第14-15页 |
| 1.2 铁电薄膜制备与表征 | 第15-21页 |
| 1.2.1 薄膜制备方法 | 第15-16页 |
| 1.2.2 薄膜测试与表征 | 第16-21页 |
| 1.3 铁酸铋材料特性 | 第21-23页 |
| 1.3.1 铁酸铋结构 | 第21-22页 |
| 1.3.2 铁酸铋电学性能 | 第22-23页 |
| 1.4 本文选题依据与主要内容 | 第23-25页 |
| 1.4.1 本文选题依据 | 第23-24页 |
| 1.4.2 本文主要内容 | 第24-25页 |
| 第2章 底电极对BiFeO_3薄膜阻变行为的影响 | 第25-34页 |
| 2.1 样品制备及结构表征 | 第25-27页 |
| 2.1.1 样品制备 | 第25-26页 |
| 2.1.2 薄膜物相与结构表征 | 第26-27页 |
| 2.2 不同底电极上BiFeO_3薄膜铁电特性 | 第27-28页 |
| 2.3 不同底电极上BiFeO_3薄膜阻变特性 | 第28-30页 |
| 2.4 阻变机制分析 | 第30-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 极化调制超薄BiFeO_3薄膜阻变特性 | 第34-43页 |
| 3.1 超薄BiFeO_3薄膜制备及相结构表征 | 第34-36页 |
| 3.1.1 样品制备 | 第34-35页 |
| 3.1.2 薄膜相结构表征 | 第35-36页 |
| 3.2 超薄BiFeO_3薄膜形貌及微结构 | 第36-38页 |
| 3.2.1 超薄BiFeO_3薄膜AFM表面形貌及PFM分析 | 第36-37页 |
| 3.2.2 超薄BiFeO_3薄膜TEM分析 | 第37-38页 |
| 3.3 极化方向对超薄BiFeO_3薄膜阻变特性的影响 | 第38-41页 |
| 3.4 超薄BiFeO_3薄膜电输运机制分析 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 应变调控BiFeO_3薄膜阻变行为 | 第43-53页 |
| 4.1 样品制备及结构表征 | 第43-46页 |
| 4.1.1 样品制备 | 第43-44页 |
| 4.1.2 薄膜结构和应变表征 | 第44-46页 |
| 4.2 应变对薄膜铁电和介电特性的调控 | 第46-48页 |
| 4.2.1 应变对BiFeO_3薄膜铁电性的影响 | 第46-47页 |
| 4.2.2 应变对BiFeO_3薄膜介电特性的影响 | 第47-48页 |
| 4.3 应变对薄膜阻变特性的调控 | 第48-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-53页 |
| 全文总结与展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-63页 |
| 附录: 攻读硕士学位期间的论文成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
