| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 前言 | 第12页 |
| 1.2 类金刚石膜的结构 | 第12-13页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的制备方法 | 第13-16页 |
| 1.3.1 离子束沉积 | 第13-14页 |
| 1.3.2 过滤式真空阴极弧(FCVA)技术 | 第14页 |
| 1.3.3 脉冲激光沉积(PLD)技术 | 第14-15页 |
| 1.3.4 磁控溅射 | 第15-16页 |
| 1.3.5 等离子体增强化学气相沉积 | 第16页 |
| 1.4 类金刚石薄膜的性能及应用 | 第16-20页 |
| 1.4.1 力学与摩擦磨损性能 | 第16-18页 |
| 1.4.2 薄膜电学性能 | 第18页 |
| 1.4.3 光学性能 | 第18-19页 |
| 1.4.4 声学性能 | 第19-20页 |
| 1.4.5 生物医学性能 | 第20页 |
| 1.5 掺杂元素后DLC薄膜性能的变化 | 第20-21页 |
| 1.6 316 L不锈钢和TC4钛合金存在的问题 | 第21页 |
| 1.7 本论文的主要研究目的及意义 | 第21-24页 |
| 1.7.1 本论文的选题背景 | 第21页 |
| 1.7.2 本论文的主要研究内容 | 第21-24页 |
| 第2章 实验条件及研究方法 | 第24-30页 |
| 2.1 316 L和TC4钛合金基体预处理 | 第24页 |
| 2.2 DLC涂层的制备 | 第24-25页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第24页 |
| 2.2.2 沉积设备概述 | 第24-25页 |
| 2.2.3 DLC薄膜与Ni-DLC薄膜的制备过程 | 第25页 |
| 2.3 DLC薄膜的微观结构及性能表征 | 第25-29页 |
| 2.3.1 薄膜的表面成分与形貌观察 | 第25-26页 |
| 2.3.2 薄膜的力学性能测试 | 第26-28页 |
| 2.3.3 薄膜的耐腐蚀性能测试 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 DLC薄膜的制备与表征 | 第30-54页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 DLC薄膜的制备工艺 | 第30页 |
| 3.3 DLC 薄膜表面化学键及截面形貌分析 | 第30-35页 |
| 3.3.1 DLC薄膜的Raman分析 | 第30-33页 |
| 3.3.2 DLC薄膜XPS分析 | 第33-34页 |
| 3.3.3 DLC薄膜SEM分析 | 第34-35页 |
| 3.4 DLC薄膜TEM分析 | 第35-36页 |
| 3.5 DLC薄膜力学性能表征 | 第36-47页 |
| 3.5.1 DLC薄膜纳米压痕测试 | 第36-40页 |
| 3.5.2 DLC薄膜结合力测试 | 第40-43页 |
| 3.5.3 DLC薄膜在模拟海水中的摩擦性能测试 | 第43-47页 |
| 3.6 DLC薄膜在模拟海水中耐腐蚀性能测试 | 第47-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 镍掺杂类金刚石薄膜的制备与表征 | 第54-80页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 Ni-DLC薄膜的制备工艺 | 第54-55页 |
| 4.3 Ni-DLC薄膜表面成分及形貌分析 | 第55-61页 |
| 4.3.1 Ni-DLC薄膜Raman分析 | 第55-58页 |
| 4.3.2 Ni-DLC薄膜的XPS分析 | 第58-61页 |
| 4.3.3 Ni-DLC薄膜SEM分析 | 第61页 |
| 4.4 Ni-DLC薄膜TEM分析 | 第61-63页 |
| 4.5 Ni-DLC薄膜力学性能分析 | 第63-73页 |
| 4.5.1 Ni-DLC薄膜纳米压痕测试 | 第63-66页 |
| 4.5.2 Ni-DLC薄膜结合力测试 | 第66-69页 |
| 4.5.3 Ni-DLC薄膜在模拟海水中摩擦学性能测试 | 第69-73页 |
| 4.6 Ni-DLC薄膜在模拟海水中的耐腐蚀性能测试 | 第73-78页 |
| 4.7 本章小结 | 第78-80页 |
| 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
