| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-12页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.1.2 课题研究的背景和意义 | 第9-12页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第12-20页 |
| 1.2.1 辊筒模具超精密加工机床国内外研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 光学微结构超精密切削加工技术国内外研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.3 超精密加工机床热误差分析与补偿国内外研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.4 国内外文献综述简析 | 第19-20页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 光学微结构阵列表面质量分析及加工实验研究 | 第22-41页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 切削力模型的建立 | 第22-26页 |
| 2.2.1 主切削力和背向力的计算 | 第22-25页 |
| 2.2.2 圆弧刀切削中未变形切削层横截面积Ac的计算 | 第25-26页 |
| 2.3 切削力测试及表面质量影响因素对比实验 | 第26-34页 |
| 2.3.1 辊筒模具加工机床性能调试 | 第26-29页 |
| 2.3.2 切削力测试实验 | 第29-31页 |
| 2.3.3 工艺参数对微结构表面质量的影响 | 第31-34页 |
| 2.4 典型光学微结构加工实验 | 第34-39页 |
| 2.4.1 圆点阵列加工实验 | 第34-37页 |
| 2.4.2 刨削加工实验 | 第37-39页 |
| 2.4.3 刨削加工问题分析 | 第39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第3章 辊筒模具加工机床液体静压导轨热变形分析 | 第41-59页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.2 热源的分类 | 第41-42页 |
| 3.3 导轨内部产热计算 | 第42-47页 |
| 3.3.1 导轨供油流量计算 | 第42-44页 |
| 3.3.2 油膜摩擦生热功率计算 | 第44页 |
| 3.3.3 油泵功率及Z轴油膜温升计算 | 第44-45页 |
| 3.3.4 电机热损耗功率计算 | 第45-47页 |
| 3.4 Z轴温度场及热变形分析 | 第47-53页 |
| 3.4.1 边界条件及材料热力学参数的确定 | 第47-48页 |
| 3.4.2 恒定室温电机未加冷却条件下的热误差分析 | 第48-51页 |
| 3.4.3 恒定室温电机加入冷却条件下的热误差分析 | 第51-52页 |
| 3.4.4 室温变化条件下的热误差分析 | 第52-53页 |
| 3.5 X、Z轴复合温度场及热变形分析 | 第53-58页 |
| 3.5.1 油膜等效结构参数确定 | 第53-55页 |
| 3.5.2 恒定室温条件下的热误差分析 | 第55-56页 |
| 3.5.3 实际工况条件下的热误差分析 | 第56-58页 |
| 3.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 光学微结构阵列加工节距误差补偿研究 | 第59-75页 |
| 4.1 引言 | 第59页 |
| 4.2 误差补偿系统设计 | 第59-67页 |
| 4.2.1 误差补偿系统硬件设计 | 第59-61页 |
| 4.2.2 误差补偿系统软件设计 | 第61-65页 |
| 4.2.3 误差补偿系统验证性实验 | 第65-67页 |
| 4.3 工艺方法对节距误差的影响与补偿 | 第67-71页 |
| 4.3.1 工艺方法对节距误差的影响 | 第67-69页 |
| 4.3.2 工艺方法对节距误差的补偿 | 第69-71页 |
| 4.4 误差补偿加工实验 | 第71-73页 |
| 4.5 本章小结 | 第73-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
