| 内容提要 | 第1-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·金刚石的结构 | 第8-9页 |
| ·金刚石的性能 | 第9-12页 |
| ·金刚石的力学性能 | 第9-10页 |
| ·金刚石的热学性能 | 第10页 |
| ·金刚石的电学性能 | 第10-11页 |
| ·金刚石的光学性能 | 第11页 |
| ·金刚石的声学性能 | 第11页 |
| ·金刚石的化学性能 | 第11-12页 |
| ·金刚石膜的应用 | 第12-15页 |
| ·在刀具方面的应用 | 第12页 |
| ·在紫外探测器方面的应用 | 第12-13页 |
| ·在声表面波滤波器（SAWF）方面的应用 | 第13-14页 |
| ·硼掺杂金刚石（BDD）在膜电极中的应用 | 第14页 |
| ·金刚石膜在场发射平板显示器中的应用 | 第14-15页 |
| ·金刚石膜的制备方法 | 第15-18页 |
| ·热丝化学气相沉积法(HF-CVD) | 第15-16页 |
| ·微波等离子体化学气相沉积法(MW-PCVD) | 第16-17页 |
| ·热阴极直流等离子体化学气相沉积法(DC-PCVD) | 第17页 |
| ·直流等离子体喷射化学气相沉积法(DC-PJCVD) | 第17-18页 |
| ·本文选题的意义和研究的主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 金刚石膜沉积及其生长特性 | 第20-28页 |
| ·热阴极直流等离子体化学气相沉积（DC-PCVD）设备简介 | 第20-21页 |
| ·实验步骤 | 第21-22页 |
| ·各实验参数对金刚石膜生长的影响 | 第22-27页 |
| ·碳源气体的种类对金刚石膜生长的影响 | 第22-24页 |
| ·碳源浓度对金刚石膜生长的影响 | 第24页 |
| ·温度对金刚石膜生长的影响 | 第24-25页 |
| ·电流对金刚石膜生长的影响 | 第25-26页 |
| ·气压对金刚石膜生长的影响 | 第26页 |
| ·掺杂对金刚石膜生长的影响 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 CO_2流量对金刚石膜生长的影响 | 第28-44页 |
| ·引言 | 第28-29页 |
| ·CO_2流量对金刚石膜表面形貌和质量的影响 | 第29-33页 |
| ·CO_2流量对金刚石膜晶粒取向的影响 | 第33-36页 |
| ·CO_2流量对金刚石膜应力的影响 | 第36-42页 |
| ·内应力的起源 | 第36-37页 |
| ·内应力的计算方法 | 第37-39页 |
| ·CO_2流量对金刚石膜应力的影响 | 第39-42页 |
| ·CO_2流量对金刚石膜生长速率的影响 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 CVD 金刚石刻刀的磨损机理研究 | 第44-55页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·CVD 金刚石刻刀的制作过程 | 第44-46页 |
| ·CVD 金刚石膜的选择 | 第44页 |
| ·刀头的制作 | 第44-45页 |
| ·高频焊接，刃磨 | 第45-46页 |
| ·实验部分 | 第46-48页 |
| ·机床 | 第46-47页 |
| ·刀具 | 第47页 |
| ·工件材料 | 第47页 |
| ·实验过程 | 第47-48页 |
| ·实验结果 | 第48页 |
| ·方差分析 | 第48-49页 |
| ·刻刀寿命经验公式 | 第49-52页 |
| ·单因素实验法 | 第49-50页 |
| ·正交实验法 | 第50页 |
| ·刻刀寿命的经验公式 | 第50-52页 |
| ·磨损和破损机理分析 | 第52-53页 |
| ·磨损过程宏观模型 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论与展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 摘要 | 第65-66页 |
| Abstract | 第66-67页 |
