摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
1 前言 | 第9-16页 |
1.1 缓蚀剂的缓蚀机理与分类 | 第9-10页 |
1.2 聚合物缓蚀剂的研究状况 | 第10-14页 |
1.3 选题目的与研究内容 | 第14-16页 |
2 实验方法 | 第16-27页 |
2.1 实验药品、仪器及材质 | 第16-17页 |
2.2 聚合物加聚反应及季铵化反应机理 | 第17-18页 |
2.3 聚合物加聚反应及其季铵盐的合成 | 第18-21页 |
2.4 聚合物缓蚀剂分子量的测定 | 第21-22页 |
2.5 聚合物季铵盐接枝率的计算 | 第22-23页 |
2.6 缓蚀剂的研究方法 | 第23-27页 |
3 结果与讨论 | 第27-50页 |
3.1 合成缓蚀剂红外图谱表征 | 第27-28页 |
3.2 聚合物分子量聚合度测定 | 第28-30页 |
3.3 聚合物季铵盐接枝率测定 | 第30-33页 |
3.4 聚合物季铵盐缓蚀性能研究 | 第33-50页 |
4 结论 | 第50-52页 |
致谢 | 第52-53页 |
参考文献 | 第53-57页 |
附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第57页 |