| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 引言 | 第7-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第7页 |
| 1.2 非旋转对称光学非球面面形检测方法概述 | 第7-12页 |
| 1.2.1 非干涉法 | 第8-10页 |
| 1.2.2 干涉法 | 第10-12页 |
| 1.3 柱面面形绝对检验方法 | 第12-13页 |
| 1.3.1 柱面三次干涉法 | 第12页 |
| 1.3.2 差分法 | 第12-13页 |
| 1.4 差分干涉法与共轭差分干涉法 | 第13-17页 |
| 1.4.1 差分干涉法原理 | 第13-15页 |
| 1.4.2 共轭差分干涉法原理 | 第15-16页 |
| 1.4.3 共轭差分干涉法锥面面形绝对检验 | 第16-17页 |
| 1.5 本文研究的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 2 计算全息法柱面面形检测技术研究 | 第19-34页 |
| 2.1 CGH数学模型分析 | 第19-22页 |
| 2.1.1 CGH标量衍射理论分析 | 第19-21页 |
| 2.1.2 CGH相位计算原理 | 第21-22页 |
| 2.2 柱面零位干涉检测用CGH设计 | 第22-27页 |
| 2.2.1 柱面面形描述 | 第22页 |
| 2.2.2 检测光路 | 第22-23页 |
| 2.2.3 柱面零位干涉检测用CGH补偿区域相位计算 | 第23-26页 |
| 2.2.4 柱面零位干涉检测用CGH辅助功能区域设计 | 第26-27页 |
| 2.2.5 设计结果 | 第27页 |
| 2.3 零位干涉检测柱面实验 | 第27-29页 |
| 2.4 零位干涉检测柱面像差分析 | 第29-33页 |
| 2.4.1 切比雪夫多项式 | 第29-30页 |
| 2.4.2 零位检测柱面装调误差分析 | 第30-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 共轭差分干涉法柱面面形绝对检验技术 | 第34-52页 |
| 3.1 共轭差分干涉法柱面面形绝对检验原理 | 第34-36页 |
| 3.2 差分波面复原算法研究 | 第36-44页 |
| 3.2.1 Fourier变换法 | 第36-39页 |
| 3.2.2 Zernike多项式拟合法 | 第39-41页 |
| 3.2.3 Hudgin结构斜率法 | 第41-44页 |
| 3.3 波面复原仿真 | 第44-51页 |
| 3.3.1 仿真波面设置 | 第44-45页 |
| 3.3.2 理想波面复原仿真 | 第45-47页 |
| 3.3.3 叠加随机噪声的波面复原仿真 | 第47-48页 |
| 3.3.4 叠加平移误差的波面复原仿真 | 第48-49页 |
| 3.3.5 叠加旋转误差的波面复原仿真 | 第49-50页 |
| 3.3.6 仿真分析及结论 | 第50-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 4 共轭差分干涉法柱面面形绝对检验实验 | 第52-60页 |
| 4.1 实验方案 | 第52-56页 |
| 4.1.1 检测光路设置 | 第52页 |
| 4.1.2 实验结构设计 | 第52-55页 |
| 4.1.3 实验实施 | 第55-56页 |
| 4.2 实验结果 | 第56-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 总结与展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 附录 | 第67页 |