压电喷涂式薄膜制备仪器开发与应用研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 薄膜制备技术研究现状分析 | 第12-20页 |
| 1.2.1 薄膜技术概略 | 第12-16页 |
| 1.2.2 压电式雾化喷涂技术及辅助仪器研究现状 | 第16-19页 |
| 1.2.3 国内外研究现状分析 | 第19-20页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第20页 |
| 1.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第二章 压电喷涂机理分析及薄膜制备仪器方案设计 | 第21-32页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 薄膜制备方法选择与分析 | 第21-22页 |
| 2.3 压电喷涂机理分析 | 第22-29页 |
| 2.3.1 超声雾化机理分析 | 第22-24页 |
| 2.3.2 压力雾化机理分析 | 第24-29页 |
| 2.4 压电喷涂仪器的结构设计 | 第29-30页 |
| 2.5 压电喷涂仪器的控制模块及流程设计 | 第30-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 旋流式压电雾化喷嘴设计研究 | 第32-41页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 旋流式雾化喷嘴的设计与计算 | 第32-37页 |
| 3.2.1 旋流式雾化喷嘴原理 | 第32-33页 |
| 3.2.2 喷嘴的特征量 | 第33-34页 |
| 3.2.3 喷嘴的设计方法-经验系数法 | 第34-35页 |
| 3.2.4 喷嘴的设计计算 | 第35-37页 |
| 3.2.5 喷嘴的校核计算 | 第37页 |
| 3.3 喷嘴的设计 | 第37-39页 |
| 3.4 喷嘴的实验验证 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 压电喷涂式薄膜制备仪器开发 | 第41-55页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 压电喷涂仪器整体框架结构设计 | 第41-42页 |
| 4.3 加热吸附平台设计 | 第42-45页 |
| 4.3.1 载物吸附平台 | 第42-43页 |
| 4.3.2 加热结构 | 第43-44页 |
| 4.3.3 温度控制模块 | 第44-45页 |
| 4.4 三维坐标定位平台设计 | 第45-47页 |
| 4.4.1 主要功能及相关参数要求 | 第45页 |
| 4.4.2 定位平台驱动轴电机选型 | 第45-47页 |
| 4.5 PLC控制系统 | 第47-51页 |
| 4.5.1 PLC基本原理 | 第47-48页 |
| 4.5.2 喷涂系统中PLC型号的选择 | 第48页 |
| 4.5.3 伺服电机的电路连接及运动控制 | 第48-50页 |
| 4.5.4 步进电机的电路连接及运动控制 | 第50-51页 |
| 4.5.5 其它输入/输出设备的连接 | 第51页 |
| 4.6 触摸屏操作系统设计 | 第51-53页 |
| 4.6.1 触摸屏的选型 | 第51页 |
| 4.6.2 人机界面的设计 | 第51-53页 |
| 4.7 薄膜制备仪器控制系统设计与样机搭建 | 第53-54页 |
| 4.8 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 压电喷涂式薄膜制备工艺及应用研究 | 第55-67页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 薄膜制备的工艺流程 | 第55-56页 |
| 5.3 制备条件对喷涂薄膜成膜的影响 | 第56-62页 |
| 5.3.1 载荷气压对成膜性能的影响 | 第57-58页 |
| 5.3.2 喷头至基底距离对成膜性能的影响 | 第58-59页 |
| 5.3.3 衬底温度对成膜性能的影响 | 第59-61页 |
| 5.3.4 溶液供给率对成膜性能的影响 | 第61-62页 |
| 5.3.5 喷涂法制备薄膜规律总结 | 第62页 |
| 5.4 基于压电喷涂法的柔性印刷电路制备 | 第62-66页 |
| 5.4.1 实验原理与过程 | 第62-64页 |
| 5.4.2 测试结果与分析 | 第64-66页 |
| 5.4.3 喷涂法制备柔性印刷电路小结 | 第66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 总结 | 第67-68页 |
| 6.2 展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
