高稳定微波电源设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第11-14页 |
| 1.1.1 微波等离子体设备简介 | 第11-12页 |
| 1.1.2 微波电源简介 | 第12-14页 |
| 1.2 课题的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 课题研究意义 | 第15-16页 |
| 1.4 论文研究的主要内容 | 第16-19页 |
| 第2章 微波电源系统过程模型 | 第19-35页 |
| 2.1 磁控管简介 | 第19-21页 |
| 2.2 磁控管工作原理分析 | 第21-26页 |
| 2.2.1 磁控管直流和交流电场分析 | 第21-23页 |
| 2.2.2 影响微波功率的因素分析 | 第23-26页 |
| 2.3 最小二乘法简介 | 第26-27页 |
| 2.4 过程模型 | 第27-35页 |
| 2.4.1 励磁线圈建模 | 第27-30页 |
| 2.4.2 磁控管建模 | 第30-32页 |
| 2.4.3 微波电源系统过程模型 | 第32-35页 |
| 第3章 微波电源控制系统设计 | 第35-49页 |
| 3.1 内模控制简介 | 第35-37页 |
| 3.2 最大灵敏度参数整定方法 | 第37-40页 |
| 3.2.1 最大灵敏度介绍 | 第37-39页 |
| 3.2.2 最大灵敏度参数整定 | 第39-40页 |
| 3.3 IMC-PID控制器设计 | 第40-41页 |
| 3.4 微波电源控制系统设计 | 第41-46页 |
| 3.4.1 微波电源控制系统设计要求 | 第41-42页 |
| 3.4.2 微波电源系统内模控制器设计 | 第42-44页 |
| 3.4.3 微波电源系统IMC-PID控制器设计 | 第44-46页 |
| 3.5 系统仿真 | 第46-49页 |
| 第4章 微波电源硬件电路设计 | 第49-63页 |
| 4.1 电场电源电路 | 第49-52页 |
| 4.2 励磁电源电路 | 第52-58页 |
| 4.2.1 开关型励磁电源设计 | 第52-56页 |
| 4.2.2 串联稳压电路设计 | 第56-58页 |
| 4.2.3 输出电流可调电路设计 | 第58页 |
| 4.3 灯丝电源设计 | 第58-60页 |
| 4.4 单片机控制电路 | 第60-63页 |
| 第5章 微波电源系统软件设计 | 第63-73页 |
| 5.1 软件结构 | 第63-64页 |
| 5.2 软件流程 | 第64-66页 |
| 5.3 算法设计 | 第66-67页 |
| 5.4 软件实现 | 第67-73页 |
| 5.4.1 灯丝预热模块软件实现 | 第67-68页 |
| 5.4.2 AD转换模块软件实现 | 第68-71页 |
| 5.4.3 递推增量式PID算法实现 | 第71-73页 |
| 第6章 系统调试 | 第73-77页 |
| 6.1 系统调试 | 第73页 |
| 6.2 系统调试方案 | 第73-74页 |
| 6.3 系统调试结果 | 第74-77页 |
| 总结与展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 攻读硕士期间已发表论文 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
