| 摘要 | 第6-9页 |
| ABSTRACT | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第16-36页 |
| 1.1 课题来源 | 第16页 |
| 1.2 课题研究目的和意义 | 第16-17页 |
| 1.3 OLED失效机制及封装方法 | 第17-24页 |
| 1.3.1 OLED结构及发光机理 | 第17-19页 |
| 1.3.2 OLED器件的失效机理 | 第19-21页 |
| 1.3.3 OLED封装技术 | 第21-24页 |
| 1.3.4 OLED薄膜封装材料 | 第24页 |
| 1.4 国内外研究概况 | 第24-28页 |
| 1.4.1 国外研究概况 | 第24-26页 |
| 1.4.2 国内研究现状 | 第26-28页 |
| 1.5 原子层沉积技术 | 第28-32页 |
| 1.5.1 ALD沉积原理及过程 | 第29-31页 |
| 1.5.2 ALD沉积前驱体 | 第31-32页 |
| 1.6 渗透原理 | 第32-34页 |
| 1.6.1 单层薄膜水氧渗透机制 | 第32-33页 |
| 1.6.2 多层薄膜的水氧渗透模型 | 第33-34页 |
| 1.7 论文的主要研究内容 | 第34-36页 |
| 第二章 基于ALD技术的单层封装薄膜工艺优化研究 | 第36-64页 |
| 2.1 薄膜表征方法 | 第36-40页 |
| 2.1.1 水汽透过率 | 第36-38页 |
| 2.1.2 表面形貌测试 | 第38-39页 |
| 2.1.3 薄膜的厚度、折射率 | 第39-40页 |
| 2.1.4 可见光透过率 | 第40页 |
| 2.2 低温氧化铝薄膜制备工艺 | 第40-49页 |
| 2.2.1 沉积原理及前驱体材料 | 第41-42页 |
| 2.2.2 TMA脉冲时间对薄膜性能影响 | 第42-46页 |
| 2.2.2.1 TMA脉冲时间对沉积速率的影响 | 第43-44页 |
| 2.2.2.2 TMA脉冲时间对薄膜表面形貌的影响 | 第44-45页 |
| 2.2.2.3 TMA脉冲时间对光学透过率影响 | 第45-46页 |
| 2.2.3 TMA吹扫时间对薄膜厚度均匀性的影响 | 第46-48页 |
| 2.2.4 Al2O3薄膜的水汽阻挡性能 | 第48-49页 |
| 2.3 低温氧化锆薄膜制备工艺 | 第49-55页 |
| 2.3.1 沉积原理及前驱体材料 | 第49-50页 |
| 2.3.2 脉冲时间对薄膜沉积速率的影响 | 第50-51页 |
| 2.3.3 脉冲时间对薄膜粗糙度的影响 | 第51-53页 |
| 2.3.4 TDMAZ吹扫时间对ZrO_2薄膜均匀性影响 | 第53-54页 |
| 2.3.5 ZrO_2薄膜水汽透过率表征 | 第54-55页 |
| 2.4 有机铝Alucone薄膜的制备及表征 | 第55-58页 |
| 2.4.1 前驱体及反应原理 | 第55-56页 |
| 2.4.2 Alucone薄膜沉积速率，表面形貌，水汽阻挡性能 | 第56-58页 |
| 2.5 有机锆Zircone薄膜的制备及表征 | 第58-62页 |
| 2.5.1 前驱体及反应原理 | 第58-60页 |
| 2.5.2 Zircone薄膜沉积速率，表面形貌，水汽阻挡性能 | 第60-62页 |
| 2.6 本章小结 | 第62-64页 |
| 第三章 有机-无机复合封装薄膜及OLED器件制备 | 第64-72页 |
| 3.1 复合薄膜封装结构及制备流程 | 第64-65页 |
| 3.2 复合封装薄膜的性能表征 | 第65-68页 |
| 3.2.1 复合封装薄膜的表面形貌 | 第65-66页 |
| 3.2.2 复合薄膜的光学透过率 | 第66-67页 |
| 3.2.3 复合封装薄膜的水汽透过率测试 | 第67页 |
| 3.2.4 器件寿命 | 第67-68页 |
| 3.3 结果分析与结构优化 | 第68-71页 |
| 3.3.1 对比结果分析 | 第68-69页 |
| 3.3.2 结构优化 | 第69-71页 |
| 3.4 本章小结 | 第71-72页 |
| 第四章 利用ALD封装薄膜提高OLED器件光取出 | 第72-84页 |
| 4.1 微腔原理 | 第72-76页 |
| 4.1.1 微腔光学理论 | 第72-75页 |
| 4.1.2 DBR光学原理 | 第75-76页 |
| 4.2 DBR结构设计 | 第76页 |
| 4.3 DBR结构的制备 | 第76-78页 |
| 4.4 OLED微腔器件制备 | 第78-79页 |
| 4.5 原子层沉积薄膜特性 | 第79-83页 |
| 4.5.1 DBR薄膜表面形貌 | 第79页 |
| 4.5.2 DBR基板反射率 | 第79-80页 |
| 4.5.3 DBR制备的OLED器件光电性能 | 第80-82页 |
| 4.5.4 DBR结构的水汽透过率表征 | 第82-83页 |
| 4.6 本章小结 | 第83-84页 |
| 第五章 ALD制备ZrO_2-Al_2O_3复合层在薄膜晶体管中的应用 | 第84-93页 |
| 5.1 器件的制备 | 第84-85页 |
| 5.2 器件的测量结果和讨论 | 第85-91页 |
| 5.3 本章小结 | 第91-93页 |
| 第六章 结论与展望 | 第93-95页 |
| 6.1 结论 | 第93-94页 |
| 6.2 展望 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-112页 |
| 作者在攻读博士学位期间公开发表的论文 | 第112-115页 |
| 作者在攻读博士学位期间所作的项目 | 第115-116页 |
| 致谢 | 第116-118页 |
