铀表面等离子体氮化的初步研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·铀的性质及其腐蚀 | 第9-13页 |
| ·金属铀的基本性质 | 第9页 |
| ·铀的氧化腐蚀 | 第9-11页 |
| ·铀的氢化腐蚀 | 第11-12页 |
| ·铀的湿热腐蚀 | 第12-13页 |
| ·氮化铀的基本性质 | 第13-19页 |
| ·氮化铀的基本物理化学性质 | 第13-14页 |
| ·铀氮反应机理 | 第14-15页 |
| ·氮化铀的制备 | 第15-16页 |
| ·氮化铀的氧化、热分解及水解 | 第16-19页 |
| ·铀的表面改性 | 第19-22页 |
| ·铀的常见表面改性工艺介绍 | 第19-22页 |
| ·铀表面氮化改性 | 第22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 第二章 实验原理 | 第23-31页 |
| ·等离子体氮化 | 第23-25页 |
| ·等离子体氮化技术原理 | 第23-24页 |
| ·实验采用的氮化装置 | 第24-25页 |
| ·物相分析及成分检测手段介绍 | 第25-28页 |
| ·X射线衍射分析 | 第25-26页 |
| ·俄歇电子能谱 | 第26-28页 |
| ·实验方法 | 第28-31页 |
| ·氮化前样品的预处理 | 第28页 |
| ·真空室残余气体成分分析 | 第28页 |
| ·氮化对样品表面微观形貌的影响 | 第28-29页 |
| ·工作气氛对氮化层厚度的影响 | 第29页 |
| ·氮化样品腐蚀实验 | 第29-31页 |
| 第三章 氮化工艺参数的选定 | 第31-36页 |
| ·设备真空条件、残气质谱分析 | 第31-32页 |
| ·工作气氛对氮化层厚度的影响 | 第32-36页 |
| ·系统本底真空 | 第32-33页 |
| ·氮气分压对氮化的影响 | 第33-34页 |
| ·氮氢混合气体氮化 | 第34-35页 |
| ·两种氮化工艺参数的比较 | 第35-36页 |
| 第四章 氮化层表征与腐蚀行为研究 | 第36-61页 |
| ·氮化样品的微观形貌 | 第36-38页 |
| ·氮化层表面微观形貌 | 第36-37页 |
| ·氮化层截面微观形貌 | 第37-38页 |
| ·氮化层物相分析 | 第38-41页 |
| ·氮化层元素含量及价态分析 | 第41-48页 |
| ·俄歇表面全谱 | 第41-42页 |
| ·氮化层深度剖析 | 第42-46页 |
| ·氮化层-基体界面分析及对氮化机制的探讨 | 第46-48页 |
| ·氮化层的腐蚀行为 | 第48-53页 |
| ·大气腐蚀实验 | 第48-49页 |
| ·氢化腐蚀实验 | 第49-52页 |
| ·湿热腐蚀实验 | 第52-53页 |
| ·几种氮化工艺的比较 | 第53-55页 |
| ·氮化动力学的简单模型 | 第55-59页 |
| ·氮化样品表面氧化 | 第59-61页 |
| 第五章 总结及展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61-62页 |
| ·工作展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 | 第68页 |
| 论文工作创新点 | 第68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68页 |
