| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 选题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 界面吸附国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 水分子界面吸附的润湿性研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 污染物界面吸附研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 分子动力学模拟方法及熔石英表面典型结构类型建立 | 第17-25页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 分子动力学理论 | 第17-20页 |
| 2.2.1 基本原理及模拟过程 | 第17-19页 |
| 2.2.2 分子相互作用 | 第19-20页 |
| 2.3 熔石英表面结构类型 | 第20-23页 |
| 2.3.1 熔石英的表面加工工艺 | 第21-22页 |
| 2.3.2 缺陷的种类 | 第22-23页 |
| 2.3.3 典型结构构型 | 第23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-25页 |
| 第3章 水在熔石英纳结构表面润湿性的研究 | 第25-44页 |
| 3.1 前言 | 第25页 |
| 3.2 固体表面润湿性理论 | 第25-26页 |
| 3.3 水在附有有机物的柱形纳结构表面的吸附 | 第26-36页 |
| 3.3.1 柱形纳结构表面的建模与模拟方法 | 第26-29页 |
| 3.3.2 水分子吸附过程及润湿状态 | 第29-31页 |
| 3.3.3 柱形结构柱高和柱间距的影响分析 | 第31-34页 |
| 3.3.4 水团簇尺寸的影响分析 | 第34-36页 |
| 3.4 纳结构下表面状态对润湿性的影响 | 第36-39页 |
| 3.4.1 纳结构表面污染物（烃基）润湿性的影响 | 第36-38页 |
| 3.4.2 纳结构表面亲水性基团（羟基）的润湿性的影响 | 第38-39页 |
| 3.5 水分子在槽型纳结构表面的润湿性 | 第39-42页 |
| 3.5.1 槽型结构建模与模拟方法 | 第39页 |
| 3.5.2 矩形槽结构下水分子的吸附仿真分析 | 第39-41页 |
| 3.5.3 锯齿槽型结构吸附仿真模拟分析 | 第41-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 熔石英表面纳结构下油分子的吸附与脱附仿真 | 第44-61页 |
| 4.1 前言 | 第44页 |
| 4.2 基底模型的建模与参数设置 | 第44-46页 |
| 4.3 四种结构表面油分子的吸附 | 第46-51页 |
| 4.3.1 四种结构表面油团在吸附过程 | 第46-48页 |
| 4.3.2 四种构型下油分子吸附过程及对比分析 | 第48-51页 |
| 4.4 四种结构表面油分子在水介质下的脱附 | 第51-59页 |
| 4.4.1 四种结构表面油分子在水介质下的脱附过程 | 第52-55页 |
| 4.4.2 四种结构中油分子的密度分布分析 | 第55-57页 |
| 4.4.3 结构势阱对残留油分子的作用机理分析 | 第57-59页 |
| 4.4.4 油分子的结构势阱机理的验证 | 第59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第5章 熔石英表面污染物去除的实验及验证 | 第61-70页 |
| 5.1 引言 | 第61页 |
| 5.2 不同表面结构熔石英样本的准备 | 第61-64页 |
| 5.2.1 熔石英表面结构加工方法的选择 | 第61-62页 |
| 5.2.2 熔石英的分组 | 第62-63页 |
| 5.2.3 实验设备 | 第63-64页 |
| 5.3 润湿角检测及XPS检测结果分析 | 第64-68页 |
| 5.3.1 样品表面面元素不同对润湿性的影响分析 | 第64-65页 |
| 5.3.2 表面微结构中槽间距对润湿性的影响分析 | 第65-66页 |
| 5.3.4 不同清洗方法对有机物去除作用的影响 | 第66-67页 |
| 5.3.5 表面微结构对残留有机物含量的影响 | 第67-68页 |
| 5.4 实验中需要严格控制的因素 | 第68-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
