| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第12-25页 |
| 1.1 研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 超深钻探井底动力机具磨损失效及解决措施 | 第13-16页 |
| 1.2.1 井底动力机具 | 第13-14页 |
| 1.2.2 井底动力机具磨损失效和危害 | 第14-15页 |
| 1.2.3 现有磨损解决措施及金刚石薄膜改性 | 第15-16页 |
| 1.3 金刚石薄膜改善镀膜部件耐磨性 | 第16-21页 |
| 1.3.1 金刚石薄膜结构与性能 | 第16-17页 |
| 1.3.2 热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜 | 第17-18页 |
| 1.3.3 在活动部件应用中存在问题 | 第18-19页 |
| 1.3.4 具备过渡层的复合金刚石薄膜 | 第19-20页 |
| 1.3.5 复合金刚石薄膜改性效果评价 | 第20-21页 |
| 1.4 选题依据 | 第21页 |
| 1.5 研究目的及主要内容 | 第21-25页 |
| 1.5.1 研究目的 | 第21-22页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第22-24页 |
| 1.5.3 撰写思路 | 第24-25页 |
| 2 实验部分 | 第25-33页 |
| 2.1 实验设备 | 第25页 |
| 2.1.1 中频磁控溅射镀膜系统 | 第25页 |
| 2.1.2 热丝化学气相系统 | 第25页 |
| 2.2 制备方法 | 第25-28页 |
| 2.2.1 SiC过渡层沉积 | 第25-26页 |
| 2.2.2 复合金刚石薄膜制备的正交实验方案 | 第26-28页 |
| 2.3 薄膜表征方法及摩擦磨损实验 | 第28-33页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜 | 第28页 |
| 2.3.2 原子力显微镜 | 第28-29页 |
| 2.3.3 光学显微镜 | 第29页 |
| 2.3.4 三维白光干涉形貌仪 | 第29页 |
| 2.3.5 X射线衍射仪 | 第29-30页 |
| 2.3.6 拉曼光谱仪 | 第30页 |
| 2.3.7 摩擦磨损试验机 | 第30-33页 |
| 3 主要沉积参数对金刚石膜成分结构和表面光洁度的影响 | 第33-56页 |
| 3.1 氩气体积比对金刚石薄膜成分结构和表面形貌影响 | 第33-41页 |
| 3.1.1 结构组分分析 | 第33-34页 |
| 3.1.2 价键结构分析 | 第34-37页 |
| 3.1.3 表面晶型和晶向分析 | 第37-38页 |
| 3.1.4 粒径和表面光洁度分析 | 第38-41页 |
| 3.2 CH4/H2比对对金刚石薄膜成分结构和表面形貌影响 | 第41-48页 |
| 3.2.1 结构组分分析 | 第41-42页 |
| 3.2.2 价键结构分析 | 第42-44页 |
| 3.2.3 表面晶型和晶向分析 | 第44-45页 |
| 3.2.4 粒径和表面光洁度分析 | 第45-48页 |
| 3.3 沉积功率对对金刚石薄膜成分结构和表面形貌影响 | 第48-54页 |
| 3.3.1 结构组分分析 | 第48-49页 |
| 3.3.2 价键结构分析 | 第49-51页 |
| 3.3.3 表面晶型和晶向分析 | 第51-52页 |
| 3.3.5 粒径和表面光洁度分析 | 第52-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 4 螺杆马达转子磨损及复合金刚石薄膜改性 | 第56-67页 |
| 4.1 金刚石薄膜沉积和摩擦学实验参数 | 第56-57页 |
| 4.1.1 金刚石薄膜沉积参数 | 第56页 |
| 4.1.2 摩擦磨损实验参数 | 第56-57页 |
| 4.2 螺杆马达磨损失效分析 | 第57-60页 |
| 4.2.1 结构组成及工作原理 | 第57-58页 |
| 4.2.2 失效过程 | 第58-59页 |
| 4.2.3 金刚石薄膜改性可行性 | 第59-60页 |
| 4.3 改性金刚石薄膜在不同载荷下摩擦学性能研究 | 第60-66页 |
| 4.3.1 摩擦系数和磨损率分析 | 第60-61页 |
| 4.3.2 磨损形貌分析 | 第61-63页 |
| 4.3.3 磨痕Raman分析 | 第63-65页 |
| 4.3.4 耐磨改性机理 | 第65-66页 |
| 4.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 5 液动钻井冲击器磨损及复合金刚石薄膜改性 | 第67-80页 |
| 5.1 镀膜钻井冲击器活塞杆磨损实验参数 | 第67页 |
| 5.1.1 金刚石薄膜沉积参数 | 第67页 |
| 5.1.2 摩擦磨损实验参数 | 第67页 |
| 5.2 液动钻井冲击器磨损失效分析 | 第67-71页 |
| 5.2.1 结构组成及工作原理 | 第67-69页 |
| 5.2.2 失效过程 | 第69页 |
| 5.2.3 金刚石薄膜改性可行性 | 第69-71页 |
| 5.3 改性金刚石薄膜在不同往复频率下摩擦学性能研究 | 第71-78页 |
| 5.3.1 摩擦系数和磨损率分析 | 第71-72页 |
| 5.3.2 金刚石薄膜磨损形貌 | 第72-74页 |
| 5.3.3 对磨球磨损形貌 | 第74页 |
| 5.3.4 磨痕Raman分析 | 第74-76页 |
| 5.3.5 耐磨改性机理 | 第76-78页 |
| 5.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 6 结论 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-90页 |
| 个人简历 | 第90-91页 |
| 在学期间研究成果 | 第91页 |
