基于压力悬浮法的单晶硅密度差值精密计量装置研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第15-21页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第15-16页 |
| 1.2 单晶硅密度测量技术概况 | 第16-19页 |
| 1.2.1 国内外密度计量现状 | 第16-17页 |
| 1.2.2 静力称重法 | 第17页 |
| 1.2.3 磁力悬浮法 | 第17-18页 |
| 1.2.4 压力悬浮法（ PFM） | 第18-19页 |
| 1.3 本文主要内容和结构 | 第19-21页 |
| 1.3.1 本文研究内容 | 第19页 |
| 1.3.2 本文结构安排 | 第19-21页 |
| 2 系统总体方案设计 | 第21-44页 |
| 2.1 系统的测量原理 | 第21-26页 |
| 2.1.1 PFM原理 | 第21-24页 |
| 2.1.2 系统参数 | 第24-25页 |
| 2.1.3 系统技术指标 | 第25-26页 |
| 2.2 系统硬件构成 | 第26-39页 |
| 2.2.1 单晶硅晶体 | 第27-28页 |
| 2.2.2 密度比较容器 | 第28-30页 |
| 2.2.3 温度控制模块 | 第30-33页 |
| 2.2.4 压力控制模块 | 第33-35页 |
| 2.2.5 CCD图像识别模块 | 第35-39页 |
| 2.3 软件设计 | 第39-43页 |
| 2.3.1 软件设计基本思路 | 第39-40页 |
| 2.3.2 软件介绍 | 第40-43页 |
| 2.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 3 压力悬浮装置精度测试 | 第44-49页 |
| 3.1 温度测试 | 第44-46页 |
| 3.1.1 长周期恒温测试 | 第44-45页 |
| 3.1.2 短周期恒温测试 | 第45页 |
| 3.1.3 温度平衡测试 | 第45-46页 |
| 3.2 压力测试 | 第46页 |
| 3.3 坐标测试 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 系统参数计算 | 第49-57页 |
| 4.1 热胀系数研究 | 第49-52页 |
| 4.1.1 热胀系数测量原理 | 第50页 |
| 4.1.2 热胀系数测量试验 | 第50-52页 |
| 4.2 压缩系数研究 | 第52-56页 |
| 4.2.1 压缩热效应原理 | 第52-53页 |
| 4.2.2 压缩热效应试验分析 | 第53-54页 |
| 4.2.3 WL-2329 压缩系数计算 | 第54-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 单晶硅密度差值测量研究 | 第57-68页 |
| 5.1 单晶硅相对密度差值 | 第57-59页 |
| 5.2 测量装置不确定度评定 | 第59-64页 |
| 5.2.1 A类不确定度评定 | 第59-60页 |
| 5.2.2 B类不确定度评定 | 第60-63页 |
| 5.2.3 MCM法不确定度评定 | 第63-64页 |
| 5.3 不确定度评定软件 | 第64-67页 |
| 5.3.1 GUM法不确定度软件 | 第65-67页 |
| 5.3.2 MCM法不确定度软件 | 第67页 |
| 5.4 GUM法和MCM法比较 | 第67-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 总结 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 附录A X射线晶体密度法(XRCD)原理 | 第73-74页 |
| 作者简介 | 第74页 |
