| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 RF MEMS简介 | 第15-16页 |
| 1.1.1 RF MEMS概述 | 第15页 |
| 1.1.2 RF MEMS技术的优点 | 第15-16页 |
| 1.2 RF MEMS可调滤波器的研究现状 | 第16-21页 |
| 1.2.1 RF MEMS可调滤波器国外研究现状 | 第16-18页 |
| 1.2.2 RF MEMS可调滤波器国内研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3 本论文的主要内容和章节安排 | 第21-23页 |
| 第二章 RF MEMS滤波器的设计理论基础 | 第23-34页 |
| 2.1 微波传输线理论 | 第23-26页 |
| 2.1.1 分布参数 | 第23页 |
| 2.1.2 均匀传输线方程 | 第23-25页 |
| 2.1.3 传输线的基本特性参数 | 第25-26页 |
| 2.2 共面波导理论 | 第26-29页 |
| 2.3 二端口射频网络参量 | 第29-31页 |
| 2.3.1 归一化参量 | 第29-30页 |
| 2.3.2 散射参量的定义 | 第30-31页 |
| 2.4 微波滤波器设计理论 | 第31-33页 |
| 2.4.1 带阻滤波器的设计参数 | 第31-32页 |
| 2.4.2 带阻滤波器的设计方法 | 第32-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 RF MEMS开关设计 | 第34-43页 |
| 3.1 RF MEMS开关概述 | 第34-36页 |
| 3.1.1 RF MEMS开关的特性 | 第34-35页 |
| 3.1.2 RF MEMS开关的分类 | 第35页 |
| 3.1.3 RF MEMS开关的激励方式 | 第35-36页 |
| 3.2 RF MEMS电容式开关 | 第36-39页 |
| 3.2.1 RF MEMS电容式开关基本原理 | 第36-37页 |
| 3.2.2 RF MEMS单膜桥开关 | 第37-38页 |
| 3.2.3 RF MEMS双膜桥开关 | 第38-39页 |
| 3.3 新型RF MEMS开关设计 | 第39-42页 |
| 3.3.1 新型RF MEMS开关结构分析 | 第39-40页 |
| 3.3.2 新型RF MEMS开关力学特性分析 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 基于共面波导的RF MEMS可调带阻滤波器设计 | 第43-52页 |
| 4.1 谐振单元分析 | 第43-49页 |
| 4.1.1 基本谐振单元结构分析 | 第43-45页 |
| 4.1.2 等效电路分析 | 第45-47页 |
| 4.1.3 谐振单元结构尺寸对谐振频率的影响 | 第47-48页 |
| 4.1.4 RF MEMS开关高度对谐振单元的影响分析 | 第48-49页 |
| 4.2 RF MEMS可调带阻滤波器的结构设计 | 第49-50页 |
| 4.3 RF MEMS可调带阻滤波器的仿真分析 | 第50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 RF MEMS可调带阻滤波器加工工艺流程 | 第52-65页 |
| 5.1 RF MEMS工艺技术的发展 | 第52-54页 |
| 5.2 RF MEMS工艺关键技术介绍 | 第54-62页 |
| 5.2.1 RF MEMS刻蚀工艺 | 第54-58页 |
| 5.2.2 RF MEMS光刻工艺 | 第58-60页 |
| 5.2.3 键合技术 | 第60-62页 |
| 5.3 RF MEMS可调带阻滤波器加工工艺流程设计 | 第62-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第69页 |
